中源綠凈為電子封裝潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),重點(diǎn)解決了微塵與有害氣體的復(fù)合監(jiān)測(cè)問題。針對(duì)芯片封裝的 100 級(jí)潔凈區(qū),配置了多參數(shù)集成監(jiān)測(cè)終端,同步采集 0.3μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、VOCs 濃度(檢測(cè)范圍 0~5ppm,精度 ±0.05ppm)、溫濕度及靜電電壓(量程 - 1000~+1000V)。采用光離子化傳感器(PID)檢測(cè)有機(jī)揮發(fā)物,響應(yīng)時(shí)間≤2 秒,配合微粒溯源算法,可快速定位污染源頭。系統(tǒng)支持與 FFU(風(fēng)機(jī)過濾單元)聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié),當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)提升風(fēng)速至 0.45m/s,使封裝缺陷率降低 42%。該系統(tǒng)已適配英特爾、三星電子的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn),在先進(jìn)封裝車間應(yīng)用中,環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.95% 以上。中源綠凈為 75 + 生物制劑廠做環(huán)境監(jiān)測(cè),發(fā)酵環(huán)境優(yōu),活性成分含量提 15%!深圳在線環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用步驟
中源綠凈針對(duì)食品無菌灌裝車間的潔凈度監(jiān)測(cè)方案,聚焦于生產(chǎn)全流程的潔凈管控。應(yīng)用場(chǎng)景:食品無菌灌裝潔凈車間。按照 GB 14881 標(biāo)準(zhǔn)要求,在 C 級(jí)潔凈灌裝區(qū)部署監(jiān)測(cè)終端,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、空氣潔凈度等級(jí)、設(shè)備表面微生物及壓差(≥15Pa)。采用 ATP 生物熒光檢測(cè)技術(shù),表面微生物檢測(cè)時(shí)間從 48 小時(shí)縮短至 15 分鐘,準(zhǔn)確率 98.6%。通過與灌裝生產(chǎn)線聯(lián)動(dòng),當(dāng)潔凈度不達(dá)標(biāo)時(shí)自動(dòng)暫停灌裝作業(yè)并啟動(dòng)消毒程序,使食品無菌合格率提升至 99.97%。已服務(wù)于伊利、光明乳業(yè)等企業(yè),助力其通過食品安全管理體系認(rèn)證,潔凈度監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。蘇州芯片半導(dǎo)體環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用步驟中源綠凈為 35 + 顏料廠做環(huán)境監(jiān)測(cè),重金屬排放達(dá)標(biāo)率 100%,生產(chǎn)合規(guī)!
中源綠凈在半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈室潔凈度監(jiān)測(cè)中,推出了微粒 - 氣體純度聯(lián)動(dòng)方案。應(yīng)用場(chǎng)景:半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈車間。針對(duì) 10 級(jí)沉積區(qū),部署超高精度監(jiān)測(cè)終端,同步檢測(cè) 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 100L/min)、沉積氣體純度(99.999%~99.9999%,精度 ±0.0001%)及腔體壓差(≥20Pa)。采用激光散射法與氣相色譜聯(lián)用技術(shù),氣體純度響應(yīng)時(shí)間≤1 秒,微粒檢測(cè)分辨率達(dá) 0.05μm。系統(tǒng)與沉積設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng)氣體雜質(zhì)或微粒超標(biāo)時(shí)自動(dòng)切斷氣源,使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創(chuàng)等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn),潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。
中源綠凈針對(duì)醫(yī)療器械滅菌包裝潔凈室的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案,聚焦于微粒與密封性的協(xié)同管控。應(yīng)用場(chǎng)景:醫(yī)療器械滅菌包裝車間。依據(jù) ISO 11607 無菌包裝標(biāo)準(zhǔn),在 8 級(jí)潔凈包裝區(qū)部署監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、包裝材料表面微生物(每 2 小時(shí)檢測(cè) 1 次)、車間溫濕度(溫度 20~24℃,濕度 30%~50% RH)及氣壓。采用表面接觸式微生物采樣技術(shù),檢測(cè)時(shí)間縮短至 30 分鐘,準(zhǔn)確率達(dá) 99%。通過微粒濃度與包裝密封性關(guān)聯(lián)分析,提前預(yù)警包裝污染風(fēng)險(xiǎn),配合包裝機(jī)參數(shù)調(diào)節(jié),使包裝密封不良率下降 55%。已服務(wù)于強(qiáng)生醫(yī)療、美敦力等企業(yè),助力其通過 FDA 無菌包裝驗(yàn)證,環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.91% 以上。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),具備智能化分析功能,為企業(yè)提供決策支持!
中源綠凈在食品凍干潔凈車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中,推出了溫濕度 - 真空度多維度監(jiān)測(cè)方案。針對(duì)凍干食品生產(chǎn)的 C 級(jí)潔凈區(qū),配置了耐高溫監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè)凍干艙內(nèi)溫度(-50~80℃,精度 ±0.5℃)、真空度(0~1000Pa,精度 ±5Pa)、車間微粒濃度及濕度。采用電容式真空傳感器實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定測(cè)量,數(shù)據(jù)更新周期為 5 秒 / 次,確保捕捉凍干關(guān)鍵階段的參數(shù)變化。系統(tǒng)對(duì)接凍干工藝管理軟件,自動(dòng)生成參數(shù)趨勢(shì)報(bào)告,使凍干食品水分含量合格率提升 50%。該系統(tǒng)已在好想你、三只松鼠等企業(yè)應(yīng)用,符合 GB 23790 凍干食品衛(wèi)生規(guī)范,環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案,助力 30 + 企業(yè)降低環(huán)境風(fēng)險(xiǎn),實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展!蘇州在線環(huán)境監(jiān)測(cè)源頭廠家
中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,使用壽命達(dá) 8 年,節(jié)能率比行業(yè)高 20%,為企業(yè)節(jié)省大量成本!深圳在線環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用步驟
中源綠凈針對(duì)半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測(cè)方案,聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測(cè)。應(yīng)用場(chǎng)景:半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈車間。針對(duì) 1000 級(jí)刻蝕區(qū),配置防腐蝕監(jiān)測(cè)終端,可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min)、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度(控制在 40%~50% RH±3%)。采用惰性材料封裝傳感器,檢測(cè)精度在腐蝕性環(huán)境中仍保持 ±10% 以內(nèi)。通過與蝕刻槽聯(lián)動(dòng)控制,當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部排風(fēng),使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務(wù)于華虹半導(dǎo)體、士蘭微等企業(yè),符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn),潔凈度監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確率 99.92%。深圳在線環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用步驟