中源綠凈針對半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測方案,聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級刻蝕區(qū),配置防腐蝕監(jiān)測終端,可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境,實時監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min)、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度(控制在 40%~50% RH±3%)。采用惰性材料封... 【查看詳情】
中源綠凈累計完成 33 個生物制藥潔凈室項目,包括疫苗、抗體藥物、基因工程藥物等生產(chǎn)車間,全部通過國家藥監(jiān)局 GMP 認(rèn)證檢查。生物制藥潔凈室設(shè)計嚴(yán)格遵循歐盟 GMP 和中國 GMP 標(biāo)準(zhǔn),潔凈度等級達(dá)到 ISO 5 級,無菌灌裝區(qū)采用隔離器技術(shù),確保無菌環(huán)境。空調(diào)系統(tǒng)采用全新風(fēng)直流式,每小時換氣次數(shù)≥60 次,排風(fēng)經(jīng)過高效過濾器處理后排... 【查看詳情】
中源綠凈模塊化潔凈室采用 98% 可回收材料構(gòu)建,從墻體到吊頂均可實現(xiàn)拆卸后重復(fù)利用,某食品廠改造項目通過這種材料特性減少建筑垃圾 45 噸。環(huán)保型涂層板材符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn),無甲醛釋放,施工過程中無有害氣體揮發(fā),保障施工人員與后續(xù)使用人員的健康安全。系統(tǒng)通過智能變頻風(fēng)機(jī)與熱回收技術(shù),較傳統(tǒng)潔凈室降低 35% 能耗,某半導(dǎo)體車間應(yīng)用后年... 【查看詳情】
中源綠凈在食品添加劑潔凈車間環(huán)境監(jiān)測中,推出了粉塵 - 微生物雙維度方案。應(yīng)用場景:食品添加劑生產(chǎn)潔凈車間。針對 C 級潔凈生產(chǎn)區(qū),配置防塵防潮監(jiān)測終端,同步監(jiān)測 1μm 粉塵濃度(檢測下限 0.001mg/m3)、微生物總數(shù)(檢測頻率 1 次 / 小時)、溫度(18~26℃,精度 ±0.5℃)及濕度(40%~60% RH)。采用光散射法... 【查看詳情】
中源綠凈針對食品無菌灌裝車間的潔凈度監(jiān)測方案,聚焦于生產(chǎn)全流程的潔凈管控。應(yīng)用場景:食品無菌灌裝潔凈車間。按照 GB 14881 標(biāo)準(zhǔn)要求,在 C 級潔凈灌裝區(qū)部署監(jiān)測終端,實時監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、空氣潔凈度等級、設(shè)備表面微生物及壓差(≥15Pa)。采用 ATP 生物熒光檢測技術(shù),表面微生物檢測時間... 【查看詳情】
中源綠凈為半導(dǎo)體離子注入潔凈室定制的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng),強(qiáng)化了高能環(huán)境下的監(jiān)測可靠性。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體離子注入潔凈車間。依據(jù) SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn),在 100 級注入?yún)^(qū)部署耐輻射監(jiān)測終端,可承受高能離子輻射環(huán)境,實時監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度、注入?yún)^(qū)溫度(20~25℃±0.5℃)及靜電電位。采用防輻射涂層處理傳感器,在輻射環(huán)境下檢測精度衰減... 【查看詳情】
中源綠凈模塊化潔凈室針對光學(xué)、半導(dǎo)體等行業(yè)的高精度設(shè)備需求,開發(fā)了專業(yè)的防震解決方案,通過彈性支撐結(jié)構(gòu)將振動傳遞系數(shù)降至 0.1 以下,為精密設(shè)備提供穩(wěn)定的運行環(huán)境。在光學(xué)部件檢測車間,防震設(shè)計可減少環(huán)境振動對干涉儀等設(shè)備的影響,使測量精度得到保障。半導(dǎo)體光刻區(qū)域?qū)φ駝訕O為敏感,微小振動都可能導(dǎo)致晶圓圖案偏移,模塊化潔凈室的防震系統(tǒng)能有效... 【查看詳情】
中源綠凈為食品無菌灌裝潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),強(qiáng)化了微生物與壓差的協(xié)同管控。應(yīng)用場景:液態(tài)食品無菌灌裝車間。針對 C 級無菌灌裝區(qū),部署防水型監(jiān)測終端,同步監(jiān)測沉降菌(每小時培養(yǎng) 1 次)、灌裝區(qū)與外界壓差(≥15Pa,精度 ±1Pa)、溫度(18~22℃,精度 ±0.5℃)及濕度(30%~40% RH)。采用膜過濾法微生物檢測技術(shù),結(jié)... 【查看詳情】
中源綠凈模塊化潔凈室集成 10 寸電容觸摸液晶屏的智能控制系統(tǒng),可實時監(jiān)控溫濕度、壓差、風(fēng)速等關(guān)鍵環(huán)境參數(shù),并支持遠(yuǎn)程控制 FFU 風(fēng)機(jī)、照明系統(tǒng)等設(shè)備運行。系統(tǒng)具備工作 / 值班模式切換功能,值班模式下能耗降低 9%,搭配直流電機(jī)與 LED 照明設(shè)備,較傳統(tǒng)潔凈室綜合節(jié)能達(dá) 45%。某半導(dǎo)體車間應(yīng)用該系統(tǒng)后,年節(jié)省電費 12 萬度,運維... 【查看詳情】
中源綠凈模塊化潔凈室集成 10 寸電容觸摸液晶屏的智能控制系統(tǒng),可實時監(jiān)控溫濕度、壓差、風(fēng)速等關(guān)鍵環(huán)境參數(shù),并支持遠(yuǎn)程控制 FFU 風(fēng)機(jī)、照明系統(tǒng)等設(shè)備的運行狀態(tài)。系統(tǒng)具備工作 / 值班模式切換功能,在值班模式下能耗降低 9%,搭配直流電機(jī)與 LED 照明設(shè)備,較傳統(tǒng)潔凈室綜合節(jié)能達(dá) 45%。某半導(dǎo)體車間應(yīng)用該系統(tǒng)后,年節(jié)省電費 12 萬... 【查看詳情】
中源綠凈模塊化潔凈室針對光學(xué)、半導(dǎo)體等行業(yè)高精度設(shè)備需求,開發(fā)專業(yè)防震解決方案,通過彈性支撐結(jié)構(gòu)將振動傳遞系數(shù)降至 0.1 以下,為精密設(shè)備提供穩(wěn)定運行環(huán)境。光學(xué)部件檢測車間中,防震設(shè)計減少振動對干涉儀影響,保障測量精度;半導(dǎo)體光刻區(qū)域隔離地面與設(shè)備振動,防止晶圓圖案偏移。防震設(shè)計采用多層減震結(jié)構(gòu),包括地面減震墊、設(shè)備支撐減震器等,可按設(shè)... 【查看詳情】