中源綠凈為醫療器械潔凈車間定制的潔凈度監測系統,強化了動態生產過程的潔凈管控。應用場景:醫療器械組裝潔凈車間。依據 ISO 13485 標準,在 8 級潔凈區部署監測終端,同步監測 0.5μm 微粒濃度(檢測下限 1 粒 / 升)、工作臺面潔凈度、人員進出區壓差及微生物濃度。采用接觸式采樣與空氣采樣相結合的方式,每小時生成一次潔凈度分析報告。通過人員行為與潔凈度關聯分析,提前預警違規操作風險,使醫療器械組裝過程中的潔凈度不合格率下降 55%。已在邁瑞醫療、強生醫療等企業應用,通過 FDA 現場檢查,潔凈度監測數據追溯通過率 100%。中源綠凈的環境監測方案,助力 30 + 企業優化生產流程,提高產品競爭力!萬級環境監測測試國家標準
中源綠凈在光伏硅片清洗潔凈室環境監測中,推出了粉塵 - 水質雙維度方案。應用場景:光伏硅片清洗潔凈車間。針對 1000 級清洗區,配置防塵型監測終端,同步監測 0.3μm 粉塵濃度(檢測下限 0.001mg/m3)、清洗用水微粒(0.5μm 粒徑,10 粒 / L 以下)、溫度(20~25℃)及濕度(45%~55% RH)。采用 β 射線吸收法測塵技術,響應時間≤1 秒,數據采樣間隔 5 秒 / 次。系統對接清洗機 PLC,水質超標時自動切換過濾單元,使硅片表面潔凈度達標率提升 42%。已在隆基綠能、晶科能源應用,符合 IEC 61215 標準,環境管控達標率 99.85%。芯片半導體環境監測計數器使用說明書中源綠凈環境監測服務,使 25 + 牧場監測更科學,牛奶合格率提 10%!
中源綠凈為半導體離子注入潔凈室定制的潔凈度監測系統,強化了高能環境下的監測可靠性。應用場景:半導體離子注入潔凈車間。依據 SEMI F47 標準,在 100 級注入區部署耐輻射監測終端,可承受高能離子輻射環境,實時監測 0.3μm 微粒濃度、注入區溫度(20~25℃±0.5℃)及靜電電位。采用防輻射涂層處理傳感器,在輻射環境下檢測精度衰減≤5%/ 年。通過與離子源設備聯動調節,當微粒濃度異常時自動優化束流參數,使離子注入摻雜不均勻率下降 42%。已在中芯寧波、聯電等企業應用,通過半導體設備認證,監測數據追溯通過率 100%。
中源綠凈為精密軸承研磨潔凈室定制的環境監測系統,強化了粉塵與振動的協同管控。應用場景:精密軸承研磨加工潔凈車間。針對 1000 級研磨區,部署耐粉塵監測終端,同步監測 1μm 粉塵濃度(采樣流量 50L/min)、研磨設備振動(頻率 1~500Hz,精度 ±0.001mm/s)、溫度(20~28℃)及濕度。采用激光測振技術,數據采樣率達 1000Hz,可捕捉微米級振動。通過振動 - 粉塵關聯分析,提前預警研磨燒傷風險,使軸承圓度精度(≤0.5μm)達標率提升 40%。已在 SKF、NSK 應用,符合 ISO 12100 標準,環境穩定性達標率 99.88%。中源綠凈在環境監測方面,為 30 + 企業提供環境監測項目驗收服務,保障項目質量!
中源綠凈為電子芯片測試潔凈室開發的環境監測系統,重點強化了微粒與靜電的 管控。應用場景:芯片 終測試潔凈車間。針對 100 級測試潔凈區,部署防靜電監測終端,同步采集 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min,數據更新周期 3 秒)、靜電電壓(量程 - 500~+500V,精度 ±5V)、測試區溫度(22±1℃)及濕度(40%~50% RH)。采用法拉第杯靜電傳感器實現非接觸式測量,響應時間≤0.5 秒,配合微粒溯源算法可快速定位污染源頭。系統支持與測試設備聯動,當靜電超標時自動啟動離子風扇,使芯片測試不良率下降 42%。已在長電科技、通富微電等企業應用,符合 JEDEC JESD22-A114 靜電測試標準,環境穩定性達標率 99.94%。中源綠凈為 25 + 水產養殖場做環境監測,水質優化,存活率提 20%!蘇州激光環境監測計數器使用說明書
中源綠凈在環境監測領域,為 50 + 光學企業保障產品質量,鏡頭鍍膜合格率提升!萬級環境監測測試國家標準
中源綠凈針對半導體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監測方案,聚焦于腐蝕性環境下的 監測。應用場景:半導體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級刻蝕區,配置防腐蝕監測終端,可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環境,實時監測 0.5μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min)、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度(控制在 40%~50% RH±3%)。采用惰性材料封裝傳感器,檢測精度在腐蝕性環境中仍保持 ±10% 以內。通過與蝕刻槽聯動控制,當微粒濃度超標時自動啟動局部排風,使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務于華虹半導體、士蘭微等企業,符合 SEMI S2 安全標準,潔凈度監測準確率 99.92%。萬級環境監測測試國家標準