中源綠凈在半導體薄膜沉積潔凈室潔凈度監(jiān)測中,推出了微粒 - 氣體純度聯(lián)動方案。應用場景:半導體薄膜沉積潔凈車間。針對 10 級沉積區(qū),部署超高精度監(jiān)測終端,同步檢測 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 100L/min)、沉積氣體純度(99.999%~99.9999%,精度 ±0.0001%)及腔體壓差(≥20Pa)。采用激光散射法與氣相色譜聯(lián)用技術,氣體純度響應時間≤1 秒,微粒檢測分辨率達 0.05μm。系統(tǒng)與沉積設備聯(lián)動,當氣體雜質或微粒超標時自動切斷氣源,使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創(chuàng)等企業(yè)應用,符合 ISO 14644-1 標準,潔凈度穩(wěn)定性達標率 99.95%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測設備,幫 55 + 蓄電池廠控制鉛污染,排放降低 40%!蘇州百萬級環(huán)境監(jiān)測檢測標準對照表
中源綠凈為精密儀器裝配潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),重點解決了微振動與潔凈度的同步管控問題。針對光學儀器、精密量具的裝配 100 級潔凈區(qū),配置了一體化監(jiān)測終端,可同步采集 0.3μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 10 秒)、環(huán)境振動(頻率范圍 1~1000Hz,測量精度 ±0.001mm/s)、空氣流速(0.2~0.4m/s)等參數(shù)。采用壓電式振動傳感器實現(xiàn)高精度測量,數(shù)據(jù)采樣率達 1000Hz,確保捕捉細微振動信號。搭配振動源定位算法,能快速識別設備運行引發(fā)的振動超標,使精密儀器裝配精度提升 40%。該系統(tǒng)已適配蔡司、徠卡等企業(yè)的生產(chǎn)標準,在 顯微鏡裝配車間應用中,環(huán)境穩(wěn)定性達標率保持在 99.92% 以上。深圳激光環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器中源綠凈為 30 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)分析報告,為企業(yè)決策提供有力依據(jù)!
中源綠凈在光伏組件層壓無塵車間環(huán)境監(jiān)測中,推出了粉塵 - 溫度 - 濕度多維度方案。應用場景:光伏組件層壓無塵車間。針對 1000 級層壓區(qū),配置耐高溫監(jiān)測終端(可耐受 60℃環(huán)境),同步監(jiān)測 0.3μm 粉塵濃度(檢測下限 0.001mg/m3)、層壓溫度(130~150℃,精度 ±1℃)、相對濕度(30%~50% RH,精度 ±3%)及氣壓。采用 β 射線吸收法測塵技術,響應時間≤1 秒,數(shù)據(jù)采樣間隔 5 秒 / 次。系統(tǒng)對接層壓機控制系統(tǒng),溫濕度異常時自動調節(jié),使光伏組件層壓氣泡不良率下降 38%。已在晶澳太陽能、天合光能等應用,符合 IEC 61215 光伏組件標準,環(huán)境管控達標率 99.86%。
中源綠凈針對醫(yī)療器械滅菌包裝潔凈室的環(huán)境監(jiān)測方案,聚焦于微粒與密封性的協(xié)同管控。應用場景:醫(yī)療器械滅菌包裝車間。依據(jù) ISO 11607 無菌包裝標準,在 8 級潔凈包裝區(qū)部署監(jiān)測終端,同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、包裝材料表面微生物(每 2 小時檢測 1 次)、車間溫濕度(溫度 20~24℃,濕度 30%~50% RH)及氣壓。采用表面接觸式微生物采樣技術,檢測時間縮短至 30 分鐘,準確率達 99%。通過微粒濃度與包裝密封性關聯(lián)分析,提前預警包裝污染風險,配合包裝機參數(shù)調節(jié),使包裝密封不良率下降 55%。已服務于強生醫(yī)療、美敦力等企業(yè),助力其通過 FDA 無菌包裝驗證,環(huán)境穩(wěn)定性達標率保持在 99.91% 以上。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測設備,具備多種報警功能,及時提醒企業(yè)處理環(huán)境問題!
中源綠凈為精密儀器裝配無塵車間定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),強化了微振動與潔凈度的協(xié)同監(jiān)測。應用場景:精密儀器無塵裝配車間。針對 100 級裝配區(qū),部署高精度監(jiān)測終端,同步監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min)、環(huán)境振動(頻率 1~1000Hz,精度 ±0.001mm/s)、空氣潔凈度等級及溫濕度。采用壓電式振動傳感器,數(shù)據(jù)采樣率達 1000Hz,可捕捉微米級振動信號。通過振動源定位算法,提前預警設備運行引發(fā)的振動超標,使儀器裝配精度(公差≤0.001mm)達標率提升 42%。已在蔡司、徠卡等企業(yè)應用,符合 ISO 10110 光學儀器標準,環(huán)境穩(wěn)定性達標率 99.93%。中源綠凈為 35 + 飲料廠做環(huán)境監(jiān)測,灌裝車間潔凈度升,產(chǎn)品合格率近 100%!在線環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器廠家
中源綠凈環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),助力 35 + 電子廠靜電監(jiān)測,元件損壞率降 10%!蘇州百萬級環(huán)境監(jiān)測檢測標準對照表
中源綠凈在航空航天精密部件裝配潔凈室環(huán)境監(jiān)測中,推出了微振動 - 潔凈度雙維度方案。應用場景:航天發(fā)動機部件裝配潔凈室。針對 8 級潔凈裝配區(qū),配置高精度監(jiān)測終端,同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度(檢測下限 1 粒 / 升)、環(huán)境振動(頻率范圍 1~1000Hz,測量精度 ±0.0005mm/s)、空氣流速(0.2~0.4m/s)及溫濕度。采用激光多普勒振動測量技術,數(shù)據(jù)采樣率達 2000Hz,可捕捉微米級振動信號。通過振動源識別與隔離方案,使部件裝配精度(公差≤0.001mm)達標率提升 45%。系統(tǒng)對接 MES 系統(tǒng)實現(xiàn)數(shù)據(jù)全追溯,已在航天科技集團、中國商飛應用,符合 AS9100 航空質量管理體系,環(huán)境管控達標率 99.92%。蘇州百萬級環(huán)境監(jiān)測檢測標準對照表