中源綠凈為光學(xué)鏡片鍍膜潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，聚焦于微粒與氣體純度的 管控。針對(duì)鏡片鍍膜的 10 級(jí)潔凈區(qū)，部署了超高精度監(jiān)測(cè)終端，可檢測(cè) 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、鍍膜氣體純度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）、環(huán)境溫濕度及氣壓。采用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)（LIBS）檢測(cè)氣體純度，響應(yīng)時(shí)間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣頻率達(dá) 10 次 / 秒。通過與鍍膜機(jī)聯(lián)動(dòng)控制，當(dāng)氣體純度不達(dá)標(biāo)時(shí)自動(dòng)切斷氣源，使鏡片鍍膜不良率下降 45%。已在華為光學(xué)、舜宇光學(xué)等企業(yè)應(yīng)用，滿足 ISO 10110 光學(xué)鏡片標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率維持在 99.9%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)方面，為 30 + 學(xué)校提供空氣質(zhì)量檢測(cè)，保障師生健康！深圳萬級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)檢測(cè)

中源綠凈在電子元器件組裝無塵車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中，構(gòu)建了微粒 - 靜電 - 氣流多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場(chǎng)景：電子元器件無塵組裝車間。針對(duì) 1000 級(jí)組裝區(qū)，采用每 3 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的布局，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min，數(shù)據(jù)更新周期 3 秒）、靜電電壓（量程 - 1000~+1000V，精度 ±10V）、氣流速度（0.2~0.4m/s，精度 ±0.02m/s）及溫濕度（溫度 20~25℃，濕度 40%~60% RH）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.3μm，配合非接觸式靜電傳感器，響應(yīng)時(shí)間均≤1 秒。通過與流水線聯(lián)動(dòng)控制，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部?jī)艋b置，使元器件焊接不良率下降 45%。已在華為終端、小米電子等企業(yè)應(yīng)用，符合 IPC-A-610 電子組件標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.91%。凈化車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)項(xiàng)目中，為 300 + 企業(yè)提供 1 年歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，便于追溯過往狀況！

中源綠凈在光伏硅片清洗潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中，推出了粉塵 - 水質(zhì)雙維度方案。應(yīng)用場(chǎng)景：光伏硅片清洗潔凈車間。針對(duì) 1000 級(jí)清洗區(qū)，配置防塵型監(jiān)測(cè)終端，同步監(jiān)測(cè) 0.3μm 粉塵濃度（檢測(cè)下限 0.001mg/m3）、清洗用水微粒（0.5μm 粒徑，10 粒 / L 以下）、溫度（20~25℃）及濕度（45%~55% RH）。采用 β 射線吸收法測(cè)塵技術(shù)，響應(yīng)時(shí)間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣間隔 5 秒 / 次。系統(tǒng)對(duì)接清洗機(jī) PLC，水質(zhì)超標(biāo)時(shí)自動(dòng)切換過濾單元，使硅片表面潔凈度達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在隆基綠能、晶科能源應(yīng)用，符合 IEC 61215 標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.85%。

中源綠凈為電子芯片測(cè)試潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與靜電的 管控。應(yīng)用場(chǎng)景：芯片 終測(cè)試潔凈車間。針對(duì) 100 級(jí)測(cè)試潔凈區(qū)，部署防靜電監(jiān)測(cè)終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min，數(shù)據(jù)更新周期 3 秒）、靜電電壓（量程 - 500~+500V，精度 ±5V）、測(cè)試區(qū)溫度（22±1℃）及濕度（40%~50% RH）。采用法拉第杯靜電傳感器實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，響應(yīng)時(shí)間≤0.5 秒，配合微粒溯源算法可快速定位污染源頭。系統(tǒng)支持與測(cè)試設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng)靜電超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)離子風(fēng)扇，使芯片測(cè)試不良率下降 42%。已在長(zhǎng)電科技、通富微電等企業(yè)應(yīng)用，符合 JEDEC JESD22-A114 靜電測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.94%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)方面，為 30 + 核電站提供專業(yè)監(jiān)測(cè)，確保生產(chǎn)安全無事故！

中源綠凈在電子封裝測(cè)試潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中，構(gòu)建了微粒 - 靜電 - 溫濕度三位一體管控體系。應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體封裝測(cè)試潔凈車間。針對(duì) 100 級(jí)封裝區(qū)，采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的布局，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、靜電電壓（量程 - 500~+500V，精度 ±5V）、溫度（22±1℃，精度 ±0.3℃）及濕度（40%~50% RH，精度 ±2%）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小分辨率達(dá) 0.1μm，配合壓電式靜電傳感器，響應(yīng)時(shí)間均≤0.5 秒。通過與封裝設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部?jī)艋剐酒庋b引線鍵合不良率下降 48%。已在長(zhǎng)電科技、通富微電應(yīng)用，符合 JEDEC J-STD-033B 標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.94%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)方面，服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)覆蓋全國(guó) 200 + 城市，可迅速響應(yīng)客戶需求，解決監(jiān)測(cè)難題！蘇州模塊化環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用步驟

中源綠凈為 70 + 紡織企業(yè)監(jiān)測(cè)水質(zhì)，COD 去除率提升 15%，助力廢水達(dá)標(biāo)排放！深圳萬級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)檢測(cè)

中源綠凈針對(duì)半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測(cè)方案，聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測(cè)。應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈車間。針對(duì) 1000 級(jí)刻蝕區(qū)，配置防腐蝕監(jiān)測(cè)終端，可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min）、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封裝傳感器，檢測(cè)精度在腐蝕性環(huán)境中仍保持 ±10% 以內(nèi)。通過與蝕刻槽聯(lián)動(dòng)控制，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部排風(fēng)，使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務(wù)于華虹半導(dǎo)體、士蘭微等企業(yè)，符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)，潔凈度監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確率 99.92%。深圳萬級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)檢測(cè)