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水浸式超聲掃描顯微鏡在半導體封裝檢測中的優勢是什么?

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-07-26

其**優勢在于非破壞性高分辨率成像能力。傳統X射線或光學檢測無法穿透多層封裝結構,而水浸超聲通過高頻超聲波(通常10-500MHz)穿透材料,利用聲阻抗差異識別內部缺陷,如虛焊、空洞、分層等,檢測精度可達微米級,且不會對器件造成物理損傷。例如,在IGBT模組檢測中,可精細定位陶瓷基板與DBC板間的微米級氣隙。

杭州芯紀源半導體設備有限公司
杭州芯紀源半導體設備有限公司
簡介:杭州芯紀源成立于 2024 年,融合聲、光及 AI 算法,專注半導體檢測設備研發制造,提供超聲檢測。
簡介: 杭州芯紀源成立于 2024 年,融合聲、光及 AI 算法,專注半導體檢測設備研發制造,提供超聲檢測。
水浸式超聲掃描儀2
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其余 2 條回答

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-07-28

    多維度掃描模式支持復雜缺陷分析。水浸超聲支持A掃描(波形)、B掃描(截面)、C掃描(平面成像)及T掃描(三維重建),可***分析缺陷位置、尺寸及形態。例如,在芯片鍵合檢測中,C掃描可快速定位鍵合界面的空洞區域,而T掃描可重建空洞的三維分布,為工藝改進提供數據支撐。

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-07-31

    適應高密度封裝趨勢。隨著半導體封裝向3D堆疊、SiP系統級封裝發展,內部結構愈發復雜。水浸超聲通過調整探頭頻率(如230MHz高頻探頭)和聚焦深度,可穿透多層材料并聚焦于特定界面,滿足先進封裝對缺陷檢測的嚴苛要求。例如,在HBM存儲芯片檢測中,可穿透TSV通孔識別金屬化層的裂紋缺陷。

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