杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-08-02
向更高頻率與分辨率發展。隨著5G、人工智能芯片對材料缺陷檢測精度要求提升,設備探頭頻率將向230MHz以上突破,分辨率達亞微米級。例如,芯紀源實驗室已研發出500MHz探頭原型,可檢測0.1μm級缺陷。
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