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如何評估水浸式超聲掃描顯微鏡的檢測精度？

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-08-02

定位精度是 指標。X/Y向定位精度需<±1μm，Z向<±10μm，以確保微小缺陷（如0.1mm裂紋）的準確標注。例如，XJY-400機型通過高精度運動臺與閉環控制系統，實現重復定位精度X/Y向<±0.01mm，滿足半導體封裝檢測需求。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司
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簡介：杭州芯紀源成立于 2024 年，融合聲、光及 AI 算法，專注半導體檢測設備研發制造，提供超聲檢測。
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水浸式超聲掃描儀2
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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-08-04

    圖像分辨率決定缺陷識別能力。推薦分辨率范圍為0.5μm~4000μm，高頻探頭可提升分辨率。實驗表明，50MHz探頭在檢測金剛石復合片時，可分辨0.5μm級夾雜物，而10MHz探頭只能識別5μm以上缺陷。

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-08-05

    信噪比（SNR）影響圖像質量。高SNR（>40dB）可減少噪聲干擾，提升缺陷對比度。芯紀源系列通過優化信號采集電路與噪聲抑制算法，將XJY提升至50dB，在檢測低反射率材料（如塑料封裝）時，缺陷識別率提高25%。

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企業信息

杭州芯紀源半導體設備有限公司

聯系人： 吳先生

手   機： 4008034068

網   址： https://www.xjy-tec.com

地   址：
浙江省杭州市市轄區良渚街道網周路99號4幢21層2103室
水浸式超聲掃描儀
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