杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-07-26
采用高速運動控制技術。升級直線電機驅動系統(如X軸使用直線電機,Y軸使用伺服電機),可實現600mm/s的掃描速度。例如,某設備通過優化運動控制算法,將掃描速度從300mm/s提升至500mm/s,同時保持定位精度≤±1μm。
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