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水浸超聲檢測中如何優化掃描速度?

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-07-26

采用高速運動控制技術。升級直線電機驅動系統(如X軸使用直線電機,Y軸使用伺服電機),可實現600mm/s的掃描速度。例如,某設備通過優化運動控制算法,將掃描速度從300mm/s提升至500mm/s,同時保持定位精度≤±1μm。

杭州芯紀源半導體設備有限公司
杭州芯紀源半導體設備有限公司
簡介:杭州芯紀源成立于 2024 年,融合聲、光及 AI 算法,專注半導體檢測設備研發制造,提供超聲檢測。
簡介: 杭州芯紀源成立于 2024 年,融合聲、光及 AI 算法,專注半導體檢測設備研發制造,提供超聲檢測。
水浸式超聲掃描儀2
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其余 2 條回答

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-07-27

    并行采集與多通道技術。使用多通道數據采集卡(如16通道)同時接收多個探頭的回波信號,可縮短掃描時間。例如,檢測大面積晶圓時,采用4探頭并行掃描模式,檢測效率比單探頭提升4倍。

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-07-30

    動態聚焦與自適應采樣。根據缺陷分布密度動態調整聚焦深度和采樣間隔:在缺陷密集區(如芯片鍵合界面)采用小步長(如1μm)高密度采樣,在無缺陷區采用大步長(如10μm)快速掃描。例如,某檢測方案通過自適應采樣,將單件檢測時間從20分鐘縮短至8分鐘。

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