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當當前級別腔室101對應的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后，通過閥門開關60關閉當前級別腔室101對應的存儲箱20與過濾器30之間的液體流通，從而可以在閥門開關60關閉后取下被阻塞的過濾器30進行清理并不會導致之后的下一級腔室102的剝離進程無法繼續。其中，腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級向玻璃基板分別提供剝離液；與多個腔室10分別對應連接的多個存儲箱20，各級腔室10分別通過管道與相應的存儲箱20連接，存儲箱20用于收集和存儲來自當前級腔室101的經歷剝離制程的剝離液；過濾器30用于過濾來自當前級腔室101的存儲箱20的剝離液，并且過濾器30還可以通過管道與下一級腔室1...

騰田化學技術（上海）技術有限公司（簡稱：騰田化學），騰田化學坐落于上海五角場萬達廣場，依托復旦大學·東華大學·華東理工大學·中科院有機所·上海石油商品研究所就相關材料領域建立研發中心，憑借強大的科研實力，多年豐富的研發經驗，共同建立化工材料分析中心與新材料研發中心;騰田化學致力于化工行業材料檢測、材料分析、配方還原、新領域新材料的研發；加快新項目整體研發進度，縮短研發周期，推動化工產業自主研發的進程.為企業提供一站式服務。騰田化學作為國內的配方及研發技術有限公司，騰田化學技術團隊具有豐富研發經驗，與多所高校及研究所建立研究性合作平臺，擁有前列的技術研發平臺、雄厚的科研技術力量以及精密的...

所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器，所述***管道包括多個***子管道，每一所述***子管道與一子過濾器連通，且所述多個***子管道與當前級腔室對應的存儲箱連通。在一些實施例中，所述第二管道包括公共子管道及多個第二子管道，每一所述第二子管道與一子過濾器連通，每一所述第二子管道與所述公共子管道連通，所述公共子管道與所述下一級腔室連通。在一些實施例中，所述閥門開關設置在每一所述***子管道上。在一些實施例中，所述閥門開關設置在每一所述第二子管道上。在一些實施例中，所述閥門開關設置在每一所述***子管道及每一所述第二子管道上。在一些實施例中，所述第二管道包括多個第三子管道，每一所述第三子管...

本發明涉及化學制劑技術領域：，特別涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。背景技術：：隨著半導體制造技術以及立體封裝技術的不斷發展，電子器件和電子產品對多功能化和微型化的要求越來越高。在這種小型化趨勢的推動下，要求芯片的封裝尺寸不斷減小。3d疊層粉妝技術的封裝體積小，立體空間大，引線距離短，信號傳輸快，所以能夠更好地實現封裝的微型化。晶圓疊層是3d疊層封裝的一種形式。疊層晶圓在制造的過程中會對**外層的晶圓表面進行顯影蝕刻，當中會用到光刻膠剝離液。以往的光刻膠剝離液對金屬的腐蝕較大，可能進入疊層內部造成線路減薄，藥液殘留，影響產品的質量。因此有必要開發一種不會對疊層晶圓產生過腐蝕的光刻膠剝...

騰田化學技術（上海）技術有限公司（簡稱：騰田化學），騰田化學坐落于上海五角場萬達廣場，依托復旦大學·東華大學·華東理工大學·中科院有機所·上海石油商品研究所就相關材料領域建立研發中心，憑借強大的科研實力，多年豐富的研發經驗，共同建立化工材料分析中心與新材料研發中心;騰田化學致力于化工行業材料檢測、材料分析、配方還原、新領域新材料的研發；加快新項目整體研發進度，縮短研發周期，推動化工產業自主研發的進程.為企業提供一站式服務。騰田化學作為國內的配方及研發技術有限公司，騰田化學技術團隊具有豐富研發經驗，與多所高校及研究所建立研究性合作平臺，擁有前列的技術研發平臺、雄厚的科研技術力量以及精密的...

博洋股份擁有甲類、丙類的危化品生產和倉儲**廠房，功能包括了液體稀釋、固體溶解、液體和固體混配等工藝要求的定制研發類別Category危化品等級Hazardouschemicalsgrade設備材質Materialofequipment工藝TechnologyOEM定制加工OEM第三類Thethird(flammableliquilds)不銹鋼Stainlesssteel溶解、稀釋Dissolutionanddilution第五類Thefifth(oxidizingsubstanceandorganicperoxides)搪瓷Enamel固液配料Solid-liquidingredients第...

博洋股份擁有甲類、丙類的危化品生產和倉儲**廠房，功能包括了液體稀釋、固體溶解、液體和固體混配等工藝要求的定制研發類別Category危化品等級Hazardouschemicalsgrade設備材質Materialofequipment工藝TechnologyOEM定制加工OEM第三類Thethird(flammableliquilds)不銹鋼Stainlesssteel溶解、稀釋Dissolutionanddilution第五類Thefifth(oxidizingsubstanceandorganicperoxides)搪瓷Enamel固液配料Solid-liquidingredients第...

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每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通，所述公共子管道501與所述下一級腔室102連通。其中，閥門開關60設置在每一***子管道301上。在一些實施例中，閥門開關60設置在每一***子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中，閥門開關60設置在每一第二子管道502上。具體的，閥門開關60的設置位置可以設置在連接過濾器30的任意管道上，在此不做贅述。在一些實施例中，請參閱圖4，圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第四種結構示意圖。第二管道50包括多個第三子管道503，每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301，且每一所述第三子管道503與所述下一級腔室...

剝離液是一種通用濕電子化學品，主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質，同時防止對襯底層造成破壞。剝離液是集成電路、分立器件、顯示面板、太陽能電池等生產濕法工藝制造的關鍵性電子化工材料，下游應用領域***，但整體應用需求較低，因此市場規模偏小。 剝離液應用在太陽能電池中，對于剝離液的潔凈度要求較低，*需達到G1等級，下游客戶主要要天合、韓華、通威等；應用到面板中，通常要達到G2、G3等級，且高世代線對于剝離液的要求要高于低世代線，下游客戶有京東方、中星光電；在半導體中的應用可分等級，在8英寸及以下的晶圓制造中，對于剝離液的要求達到G3、G4水平，大硅片、12英寸晶元等...

本發明采用一種選擇性剝離制備微納結構的新方法，可制備出任意負性光刻膠所能制備的任意圖形且加工效率比傳統的加工方法提高了上萬倍(以直徑為105nm的結構為例),特別是為跨尺度結構的加工，為光學領域，電學領域，聲學領域，生物領域，mem制造，nems制造，集成電路等領域提供了一種新的解決方案。本發明的技術方案如下：一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法，包括以下步驟：步驟一、提供襯底，并清洗；步驟二、對襯底進行修飾降低光刻膠與襯底的粘附力；步驟三、襯底上旋涂光刻膠得到薄膜；步驟四、在光刻膠上加工出所需結構的輪廓；所述所需結構包括若干**單元，**單元外周形成有閉合的縫隙；步驟五、在光刻膠上...

光刻膠又稱光致抗蝕劑，主要由感光樹脂、增感劑和溶劑三種成分組成。感光樹脂經光照后，在曝光區能很快地發生光固化反應，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發生明顯變化。經曝光、顯影、刻蝕、擴散、離子注入、金屬沉積等工藝將所需的微細圖形從掩模版轉移至加工的基板上、***通過去膠剝離液將未曝光部分余下的光刻膠清洗掉，從而完成整個圖形轉移過程。在液晶面板和amoled生產中***使用。現有的剝離液主要有兩種，分別是水性剝離液和有機剝離液，由于有機剝離液只能用于具有mo/al/mo結構的制程中，無法用于ito/ag/ito；且乙醇胺的含量高達60％以上，有很強的腐蝕性，因此，常用的剝離液是水性剝...

本發明采用一種選擇性剝離制備微納結構的新方法，可制備出任意負性光刻膠所能制備的任意圖形且加工效率比傳統的加工方法提高了上萬倍(以直徑為105nm的結構為例),特別是為跨尺度結構的加工，為光學領域，電學領域，聲學領域，生物領域，mem制造，nems制造，集成電路等領域提供了一種新的解決方案。本發明的技術方案如下：一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法，包括以下步驟：步驟一、提供襯底，并清洗；步驟二、對襯底進行修飾降低光刻膠與襯底的粘附力；步驟三、襯底上旋涂光刻膠得到薄膜；步驟四、在光刻膠上加工出所需結構的輪廓；所述所需結構包括若干**單元，**單元外周形成有閉合的縫隙；步驟五、在光刻膠上...

所述卷邊輥與所述膠面收卷輥通過皮帶連接，所述收卷驅動電機與所述膠面收卷輥通過導線連接。進一步的，所述電加熱箱與所述干燥度感應器通過導線連接，所述電氣控制箱與所述液晶操作面板通過導線連接。進一步的，所述主支撐架由合金鋼壓制而成，厚度為5mm。進一步的，所述干燥度感應器與所述電氣控制箱通過導線連接。進一步的，所述防濺射擋板共有兩塊，傾斜角度為45°。進一步的，所述電氣控制箱與所述表面印刷結構通過導線連接，所述電氣控制箱與所述膠面剝離結構通過導線連接。本**技術的有益效果在于：采用黏合方式對印刷品膠面印刷進行剝離，同時能夠對印刷品膠面進行回收，節約了大量材料，降低了生產成本。附圖說明圖1是本...

上述組分中，酰胺是用于溶解光刻膠；醇醚是用于潤濕、膨潤、溶解光刻膠的；環胺與鏈胺，用于滲透、斷開光刻膠分子間弱結合力；緩蝕劑，用于降低對金屬的腐蝕速度；潤濕劑，能夠增強親水性，使得剝離液親水性良好，能快速高效地剝離溶解光刻膠。進一步技術方案中，所述的步驟s3中重新制備剝離液新液，制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物，其中重新制備新液時，加入的純化液體質量分數為：70％-95％，加入的添加劑質量分數為：5％-10％；加入的酰胺化合物質量分數為：0-15％；加入的醇醚化合物質量分數為0-5％。在制備過程中額外加入酰胺化合物以及醇醚化合物是為了調節中心制備的剝離液新液中各組分的質量分數，將配...

1.顯影液：顯影液是一種溶液，用于在PCB板上顯示銅線軌道的比例和位置，使其成為可以用于焊接元件的良好的PCB板。2.剝離液：剝離液是一種特殊的溶劑，用于將PCB板上的銅線軌道剝離開，以便重新焊接元件。3.蝕刻液：蝕刻液是一種酸性溶液，用于將PCB板上的銅線軌道腐蝕掉，以便重新焊接元件。4.清洗液：清洗液是一種混合物，用于將PCB板上的塵埃、污垢和其他殘留物消除干凈，以便進行焊接和裝配。 1.顯影液：是指用于顯影制版的液體，一般由溶劑、硫酸銅、有機酸和抗氧化劑等組成。2.剝離液：是指用于把制版上的顯影膜剝離出來的液體，一般由硝酸鋁、硫酸鈉等組成。3.蝕刻液：是指用于蝕刻制版的液體，一...

所述膠面剝離結構8上方安裝有收卷調速器801，所述收卷調速器801一側安裝有收卷驅動電機802，所述收卷驅動電機802一側安裝有輥固定架803，所述輥固定架803一側安裝有膠水盛放箱804，所述膠水盛放箱804下方安裝有點膠頭805，所述點膠頭805下方安裝有卷邊輥806，所述卷邊輥806一側安裝有膠面收卷輥807，所述膠面剝離結構8一側安裝有電加熱箱9，所述電加熱箱9下方安裝有熱風噴頭10，所述熱風噴頭10下方安裝有干燥度感應器11,所述干燥度感應器11下方安裝有電氣控制箱12，所述電氣控制箱12上方安裝有液晶操作面板13。本實施例中，所述主支撐架1與所述橫向支架2通過螺栓連接，所述...

使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室；若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞，則關閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關；取出被阻塞的所述過濾器。在一些實施例中，所述若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞，則關閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關包括：若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器，則關閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關。本申請實施例還提供一種剝離液機臺，包括：依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應連接一存儲箱；過濾器，所述過濾器的一端設置通過***管道與當前級腔室對應的存儲箱連接，所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級...

當當前級別腔室101對應的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后，通過閥門開關60關閉當前級別腔室101對應的存儲箱20與過濾器30之間的液體流通，從而可以在閥門開關60關閉后取下被阻塞的過濾器30進行清理并不會導致之后的下一級腔室102的剝離進程無法繼續。其中，腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級向玻璃基板分別提供剝離液；與多個腔室10分別對應連接的多個存儲箱20，各級腔室10分別通過管道與相應的存儲箱20連接，存儲箱20用于收集和存儲來自當前級腔室101的經歷剝離制程的剝離液；過濾器30用于過濾來自當前級腔室101的存儲箱20的剝離液，并且過濾器30還可以通過管道與下一級腔室1...

本發明**技術公開了一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置，包括主支撐架、橫向支架、伺服變頻電機、電機減速箱、印刷品放置箱、表面印刷結構、膠面剝離結構，所述主支撐架上方設置有所述橫向支架，所述橫向支架上方設置有所述伺服變頻電機，所述卷邊輥一側安裝有膠面收卷輥，所述膠面剝離結構一側安裝有電加熱箱，所述電加熱箱下方安裝有熱風噴頭，所述熱風噴頭下方安裝有干燥度感應器,所述干燥度感應器下方安裝有電氣控制箱，所述電氣控制箱上方安裝有液晶操作面板。有益效果在于：采用黏合方式對印刷品膠面印刷進行剝離，同時能夠對印刷品膠面進行回收，節約了大量材料，降低了生產成本。Aprintedpeelingcompound...

所述防濺射擋板下方安裝有印刷輥,所述表面印刷結構一側安裝有所述膠面剝離結構，所述膠面剝離結構上方安裝有收卷調速器，所述收卷調速器一側安裝有收卷驅動電機，所述收卷驅動電機一側安裝有輥固定架，所述輥固定架一側安裝有膠水盛放箱，所述膠水盛放箱下方安裝有點膠頭，所述點膠頭下方安裝有卷邊輥，所述卷邊輥一側安裝有膠面收卷輥，所述膠面剝離結構一側安裝有電加熱箱，所述電加熱箱下方安裝有熱風噴頭，所述熱風噴頭下方安裝有干燥度感應器,所述干燥度感應器下方安裝有電氣控制箱，所述電氣控制箱上方安裝有液晶操作面板。進一步的，所述主支撐架與所述橫向支架通過螺栓連接，所述伺服變頻電機與所述電機減速箱通過導線連接。進...

701、油墨放置箱；702、油墨加壓器；703、高壓噴頭；704、防濺射擋板；705、印刷輥；8、膠面剝離結構；801、收卷調速器；802、收卷驅動電機；803、輥固定架；804、膠水盛放箱；805、點膠頭；806、卷邊輥；807、膠面收卷輥；9、電加熱箱；10、熱風噴頭；11、干燥度感應器；12、電氣控制箱；13、液晶操作面板。具體實施方式下面結合附圖對本**技術作進一步說明：如圖1-圖4所示，一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置，包括主支撐架1、橫向支架2、伺服變頻電機3、電機減速箱4、印刷品放置箱6、表面印刷結構7、膠面剝離結構8，所述主支撐架1上方設置有所述橫向支架2，所述橫向支架2...

本發明涉及剝離液技術領域：，更具體的說是涉及一種光刻膠剝離液再生方法。背景技術：：電子行業飛速發展，光刻膠應用也越來越***。在半導體元器件制造過程中，經過涂敷-顯影-蝕刻過程，在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后，必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材，才能再進行下道工序。因此，光刻膠的剝離質量也有直接影響著產品的質量。而隨著電子行業的發展以及高世代面板的面世，光刻膠剝離液的使用越來越多。剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質，而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收，其大量的使用但不能夠有效地回收，對環境、資源等都造成了比較大的影響。有鑒于此，申請人研發出以下的對使用...

所述抽真空氣體修飾法包括如下步驟：將將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中，對密閉空間抽真空至光刻膠抗粘層氣化，保持1分鐘以上，直接取出襯底。進一步的改進，所述襯底為硅、氧化硅、石英、玻璃、氮化硅、碳化硅、鈮酸鋰、金剛石、藍寶石或ito制成。進一步的改進，所述步驟(2)對襯底修飾的試劑包括hmds和十三氟正辛基硅烷；對襯底修飾的試劑鍍在襯底表面。進一步的改進，所述所述光刻膠包括pmma,zep，瑞紅膠，az膠，納米壓印膠和光固化膠。進一步的改進，所述光刻膠厚度為1nm-100mm進一步的改進，所述光刻膠上加工出所需結構的輪廓的方法為電子束曝光，離子束曝光，聚焦離子束曝光，重離子曝光，x射線...

用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3：有少量殘渣4：基本能剝離，但一部分殘渣多5：一半以上能剝離，但一部分殘渣多6：基本不能剝離，但一部分剝離7：不能剝離【表2】由該結果可知，在含有溶纖劑的抗蝕劑的剝離液中使用氫氧化鉀代替氫氧化鈉的本發明組成，與使用氫氧化鈉的比較組成相比，即使l/s狹窄，也能除去抗蝕劑。(3)剝離性能的評價方法將液溫設為50℃的各剝離液使用噴涂裝置向上述試驗片實施剝離處理，將試驗片的粘性部分的dfr以目視全部面積的90％以上被剝離的時刻作為剝離時間。另外，剝離片尺寸(長邊)是采集噴涂停止后附著于設置于試驗基板固定用的臺上的排渣用網眼的剝離片以目視實施的。此時的噴涂裝置的條...

其包含含有鉀鹽的第1液、和含有溶纖劑的第2液。再者，本發明涉及印刷布線板、半導體基板、平板顯示器或引線框的制造方法，其特征在于，在包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導體基板、平板顯示器或引線框的制造方法中，使用上述抗蝕劑的剝離液進行抗蝕劑的除去。發明效果本發明的抗蝕劑的剝離液即使是微細的布線間的抗蝕劑也能細小地粉碎。因此，本發明的抗蝕劑的剝離液適合于包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導體基板、平板顯示器或引線框的制造方法。具體實施方式本發明的抗蝕劑的剝離液(以下，稱為“本發明剝離液”)含有氫氧化鉀和溶纖劑。本發明剝離液中的鉀鹽沒有特別限定，例...

所述印刷品傳送帶(5)一側安裝有所述印刷品放置箱(6)，所述印刷品放置箱(6)一側安裝有所述表面印刷結構(7)，所述表面印刷結構(7)上方設置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702)，所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703)，所述高壓噴頭(703)一側安裝有防濺射擋板(704)，所述防濺射擋板(704)下方安裝有印刷輥(705),所述表面印刷結構(7)一側安裝有所述膠面剝離結構(8)，所述膠面剝離結構(8)上方安裝有收卷調速器(801)，所述收卷調速器(801)一側安裝有收卷驅動電機(802)，所述收卷驅動電機(802)一側安裝有輥固定...

博洋股份一直致力于為國內外**公司提供化工產品的服務，該服務包含了國內原材料資源開發、品質保證、倉儲和物流。類別Category行業Industry工業化學品航天、汽車領域水處理、膠黏劑行業日化、食品、醫藥行業博洋股份一直致力于為國內外**公司提供化工產品的服務，該服務包含了國內原材料資源開發、品質保證、倉儲和物流。類別Category行業Industry工業化學品航天、汽車領域水處理、膠黏劑行業日化、食品、醫藥行業博洋股份一直致力于為國內外**公司提供化工產品的服務，該服務包含了國內原材料資源開發、品質保證、倉儲和物流。類別Category行業Industry工業化學品航天、汽車領域水處理、...

本發明**技術公開了一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置，包括主支撐架、橫向支架、伺服變頻電機、電機減速箱、印刷品放置箱、表面印刷結構、膠面剝離結構，所述主支撐架上方設置有所述橫向支架，所述橫向支架上方設置有所述伺服變頻電機，所述卷邊輥一側安裝有膠面收卷輥，所述膠面剝離結構一側安裝有電加熱箱，所述電加熱箱下方安裝有熱風噴頭，所述熱風噴頭下方安裝有干燥度感應器,所述干燥度感應器下方安裝有電氣控制箱，所述電氣控制箱上方安裝有液晶操作面板。有益效果在于：采用黏合方式對印刷品膠面印刷進行剝離，同時能夠對印刷品膠面進行回收，節約了大量材料，降低了生產成本。Aprintedpeelingcompound...

剝離液是一種通用濕電子化學品，主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質，同時防止對襯底層造成破壞。剝離液是集成電路、分立器件、顯示面板、太陽能電池等生產濕法工藝制造的關鍵性電子化工材料，下游應用領域***，但整體應用需求較低，因此市場規模偏小。 剝離液應用在太陽能電池中，對于剝離液的潔凈度要求較低，*需達到G1等級，下游客戶主要要天合、韓華、通威等；應用到面板中，通常要達到G2、G3等級，且高世代線對于剝離液的要求要高于低世代線，下游客戶有京東方、中星光電；在半導體中的應用可分等級，在8英寸及以下的晶圓制造中，對于剝離液的要求達到G3、G4水平，大硅片、12英寸晶元等...