騰田化學技術（上海）技術有限公司（簡稱：騰田化學），騰田化學坐落于上海五角場萬達廣場，依托復旦大學·東華大學·華東理工大學·中科院有機所·上海石油商品研究所就相關材料領域建立研發中心，憑借強大的科研實力，多年豐富的研發經驗，共同建立化工材料分析中心與新材料研發中心;騰田化學致力于化工行業材料檢測、材料分析、配方還原、新領域新材料的研發；加快新項目整體研發進度，縮短研發周期，推動化工產業自主研發的進程.為企業提供一站式服務。騰田化學作為國內的配方及研發技術有限公司，騰田化學技術團隊具有豐富研發經驗，與多所高校及研究所建立研究性合作平臺，擁有前列的技術研發平臺、雄厚的科研技術力量以及精密的高科技儀器設備；有標準的圖譜庫；材料庫；完善的數據庫；能夠有效的解決某些前列領域特殊產品**能性助劑的定性定量分析及研發技術服務，為企業解決在研發中遇到的難題，突破多領域技術瓶頸；并且與化工行業上百家有規模企業建立長期技術合作；騰田化學中心擁有強大的技術研發團隊：由數位工程師在新材料前列領域已幫助多家企業解決實際生產問題，協助企業成功自主研發**產品項目很多項。剝離液的技術指標哪家比較好？廣東京東方用的蝕刻液剝離液

    技術領域：本發明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法，可用于微納制造，光學領域，電學，生物領域，mems領域，nems領域。技術背景：微納制造技術是衡量一個國家制造水平的重要標志，對提高人們的生活水平，促進產業發展與經濟增長，保障**安全等方法發揮著重要作用，微納制造技術是微傳感器、微執行器、微結構和功能微納系統制造的基本手段和重要基礎?；诎雽w制造工藝的光刻技術是**常用的手段之一。對于納米孔的加工，常用的手段是先利用曝光負性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結構，再通過金屬的沉積和溶膠實現圖形反轉從而得到所需要的納米孔。然而傳統的方法由于光刻過程中的散焦及臨近效應等會造成曝光后的微納結構側壁呈現一定的角度(如正梯形截面)，這會造成蒸發過程中的掛壁嚴重從而使lift-off困難。同時由于我們常用的高分辨的負膠如hsq，在去膠的過程中需要用到危險的氫氟酸，而氫氟酸常常會腐蝕石英，氧化硅等襯底從而影響器件性能，特別的，對于跨尺度高精度納米結構的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰。技術實現要素：：為了克服上述技術問題，本發明公開了一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法。廣東京東方用的蝕刻液剝離液上海和輝光電用的哪家的剝離液？

    添加劑中含有醇醚化合物、胺化合物、緩蝕劑以及潤濕劑；s3：將步驟s1的剝離液廢液與添加劑混合，重新制備剝離液新液，制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。光刻膠剝離液為純有機溶劑體系，廢液可通過蒸餾回收80-95％有效物，得出純化液體，而在上述制備方式中，純化液體所含的組分與添加劑所含的組分之間是具有相重復的，可以認為，添加劑是根據已知的剝離液新液的組分進行配制的，添加劑可以是對純化液體與剝離液新液之間的組分的差別而進行的添加、補充，使得純化液體和添加劑混合后，能夠具有與剝離液新液相同的組分。那么，可以知道，在預先知道剝離液新液的組分的基礎上，可以通過預先配制含有剝離液新液中的某些組分的添加劑，然后在制備回收的剝離液廢液得出純化液體時，可以將添加劑加入純化液體中，再進行質量分數的調節。純化液體是將剝離液廢液進行加壓、蒸餾，去除剝離液廢液中的非剝離液新液的組分的物質，然后得出的純化液體，純化液體中所含的組分物質，都是剝離液新液所含有的組分物質。進一步技術方案中，所述的步驟1中得出的純化液體中含有的酰胺化合物的質量分為：45％-60％；含有的醇醚化合物的質量分為：35％-50％。

隨著電子元器件制作要求的提高，相關行業應用對濕電子化學品純度的要求也 不斷提高。為了適應電子信息產業微處理工藝技術水平不斷提高的趨勢，并規范世 界超凈高純試劑的標準，國際半導體設備與材料組織（SEMI）將濕電子化學品按金 屬雜質、控制粒徑、顆粒個數和應用范圍等指標制定國際等級分類標準。濕電子化 學品在各應用領域的產品標準有所不同，光伏太陽能電池領域一般只需要 G1 級水平；平板顯示和 LED 領域對濕電子化學品的等級要求為 G2、G3 水平；半導體領域中， 集成電路用濕電子化學品的純度要求較高，基本集中在 G3、G4 水平，分立器件對 濕電子化學品純度的要求低于集成電路，基本集中在 G2 級水平。一般認為，產生集 成電路斷絲、短路等物理性故障的雜質分子大小為**小線寬的 1/10。因此隨著集成 電路電線寬的尺寸減少，對工藝中所需的濕電子化學品純度的要求也不斷提高。從 技術趨勢上看，滿足納米級集成電路加工需求是超凈高純試劑今后發展方向之一。天馬微電子用的哪家的剝離液？

    用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3：有少量殘渣4：基本能剝離，但一部分殘渣多5：一半以上能剝離，但一部分殘渣多6：基本不能剝離，但一部分剝離7：不能剝離【表2】由該結果可知，在含有溶纖劑的抗蝕劑的剝離液中使用氫氧化鉀代替氫氧化鈉的本發明組成，與使用氫氧化鈉的比較組成相比，即使l/s狹窄，也能除去抗蝕劑。(3)剝離性能的評價方法將液溫設為50℃的各剝離液使用噴涂裝置向上述試驗片實施剝離處理，將試驗片的粘性部分的dfr以目視全部面積的90％以上被剝離的時刻作為剝離時間。另外，剝離片尺寸(長邊)是采集噴涂停止后附著于設置于試驗基板固定用的臺上的排渣用網眼的剝離片以目視實施的。此時的噴涂裝置的條件設為全錐噴嘴且流量5l/min、壓力。將其結果示于表3。(4)金屬的浸蝕性的評價方法利用上述評價方法實施將噴涂運行時間固定在10分鐘的處理。其后，將基板的鍍銅部位通過電子顯微鏡(日立高新技術制：s-3400n)按照以下的評價基準評價表面形狀。其結果也示于表3。<金屬浸蝕性的評價基準>(分數)(內容)1：沒有變化2：極略微有變化(用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3：略有變化4：發生***變色【表3】剝離時間(sec)剝離片尺寸。維信諾用的哪家的剝離液？合肥配方剝離液費用

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    這些溶纖劑可以使用1種或組合使用2種以上。本發明剝離液中的溶纖劑的含量沒有特別限定，例如，推薦～，更推薦～，特別推薦～。本發明剝離液中，為了抑制對金屬的浸蝕性，推薦還含有硅酸鹽。硅酸鹽沒有特別限定，例如，可以舉出硅酸鉀、硅酸鈉等。這些之中推薦硅酸鉀。本發明剝離液中的硅酸鹽的含量沒有特別限定，例如，推薦～，更推薦～，特別推薦～。需要說明的是，本發明剝離液中，推薦*由上述成分構成，但只要不阻礙本發明的效果，可以含有例如聚氧化烯烷基醚系、硅系的消泡劑等其它成分。以上說明的本發明剝離液可以通過將上述成分溶于水中來制備。需要說明的是，本發明剝離液的ph若為堿性則沒有特別限定，但通常**將上述成分溶于水就成為堿性，因此沒有特別必要調整ph。另外，本發明剝離液可以通過將上述成分分別分開預先溶于水，成為抗蝕劑的剝離液套件，將它們混合來制備。具體來說，可以舉出以包含含有鉀鹽的第1液和含有溶纖劑的第2液為特征的抗蝕劑的剝離液套件、其中還包含含有硅酸鹽的第3液的抗蝕劑的剝離液套件、進而在其中使上述其它成分適當含有于各液中的抗蝕劑的剝離液套件等。通過使用本發明剝離液對施加有抗蝕劑的基材進行處理，抗蝕劑被細小地粉碎。廣東京東方用的蝕刻液剝離液

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