設備的無氧環境如何實現和維持？

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廣東華芯半導體技術有限公司2025-05-27

設備采用雙門互鎖結構和多重密封技術，結合高效氣體置換算法，通過進氣口通入高純惰性氣體，同時通過出氣口排出腔體空氣，配合氧傳感器實時反饋，實現無氧環境的快速建立和穩定維持。廣東華芯半導體技術有限公司的設備支持自動補氣模式，確保長時間連續生產時氧含量波動≤±5ppm。

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簡介：廣東華芯半導體技術有限公司主營真空固晶回流焊、熱風氮氣焊接設備及無氧銀漿烤箱等設備。

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