下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。圖1是實施例一中公開的儲存罐與拖車的安裝結構圖;圖2是實施例二中公開的儲存罐與拖車的安裝結構圖;圖3是實施例三中公開的儲存罐與拖車的安裝結構圖;圖4是實施例四中公開的儲存罐與拖車的安裝結構圖。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。實施例一鋁蝕刻液生產設備,包括混合罐、過濾器和數個小型的儲存罐,混合罐通過液管與過濾器連接,過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管,每個儲存罐的進液口和出液口中安裝有一只單向液動閥,過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中,將過濾后的鋁蝕刻液注入儲存罐內暫存。請參閱圖1,儲存罐10固定在一輛液壓升降式拖車20的頂部,在過濾器的下方設置地磅30,載有空儲存罐的拖車置于地磅上方,過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中,當地磅所測得的重量達到系統預設重量時,過濾器的出液管自動上行離開儲存罐。將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產車間移動至自動灌裝車間中,將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內的鋁蝕刻液分裝。拖車的底部具有滾輪21,即使滾輪帶有剎車。使用蝕刻液需要什么條件。安徽銀蝕刻液蝕刻液主要作用
所述裝置主體前端表面靠近左上邊角位置設置有活動板,所述分隔板右端放置有蓄水箱,所述蓄水箱上端靠近右側連接有進水管,所述回流管下端連接有抽水管,所述抽水管內部上端設置有三號電磁閥,所述裝置主體前端表面靠近右側安裝有控制面板。作為本發明的進一步方案,所述分隔板與承載板相互垂直設置,所述電解池內部底端的傾斜角度設計為5°。作為本發明的進一步方案,所述進液管的形狀設計為l型,且進液管貫穿分隔板設置在進液漏斗與伸縮管之間。作為本發明的進一步方案,所述圓環塊通過伸縮桿活動安裝在噴頭上方,且噴頭通過伸縮管活動安裝在電解池上方。作為本發明的進一步方案,所述回流管與進水管的形狀均設計為l型,所述傾斜板的傾斜角度設計為10°。作為本發明的進一步方案,所述活動板前端設置有握把,活動板與裝置主體之間設置有鉸鏈,且活動板通過鉸鏈活動安裝在裝置主體前端。作為本發明的進一步方案,所述控制面板的輸出端分別與增壓泵、一號電磁閥、二號電磁閥和三號電磁閥的輸入端呈電性連接。與現有技術相比,本發明的有益效果是:該回收處理裝置通過在增壓泵下端設置有回流管,能夠在蝕刻液電解后,啟動增壓泵并打開一號電磁閥。佛山格林達蝕刻液銷售公司華星光電用的哪家的蝕刻液?
本發明涉及銅蝕刻液技術領域,具體涉及一種酸性銅蝕刻液的生產工藝。背景技術:高精細芯片和顯示集成電路主要采用銅制程,其光刻工藝中形成銅膜層結構所需用的銅刻蝕液中主要的為過氧化氫系銅刻蝕液。過氧化氫系銅蝕刻液較其他銅刻蝕液體系(如三氯化鐵體系,過硫酸銨體系)具有不引人其他金屬離子在銅層表面或線路體系中,產物親和、友好、環境污染少,刻蝕效率高且使用壽命較長的特點。大部分過氧化氫系銅刻蝕液包括參與氧化的過氧化氫組分、參與溶解的無機酸/有機酸組分,以及部分銅緩蝕劑等各類添加三個部分。由于銅蝕刻液中各物質的反應為放熱反應,體系中又含有過氧化氫在制備銅蝕刻液的生產過程中需要保證生產安全。技術實現要素:本發明的目的在于,克服現有技術中存在的缺陷,提供一種銅蝕刻液大規模量產的生產工藝,該生產工藝溫控嚴格,生產過程中安全性高。為實現上述目的,本發明的技術方案是設計一種酸性銅蝕刻液的生產工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;第二步:配制和準備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應的原料罐中,經過過濾器循環過濾,備用。
內嵌觀察窗402通過觀察窗翻折滾輪401內嵌入裝置內部,工作人員可通過內嵌的透明窗對內部的制備狀況進行實時查看,從而很好的體現了該裝置的實時性。推薦的,鹽酸裝罐7的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗9,在進行制備時需要向鹽酸裝罐7內倒入一定比例的熱水進行均勻調和,由于熱水與鹽酸接觸會產生較為劇烈的反應,濺出容易傷害工作人員,通過設置熱水流入漏斗9,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內,從而很好的減小了發生反應的劇烈程度,很好的起到了保護作用。推薦的,裝置底座5的內部兩側緊密焊接有加固支架10,由于制備裝置為一體化裝置,承載設備較多,質量較重,對底座會產生較大的壓力,通過設置加固支架10,加固支架10為連接在兩側底座支柱的三角結構,利用三角結構穩定原理對裝置底座5起到了很好的加固效果。推薦的,制備裝置主體1的兩端緊密貼合有防燙隔膜11,由于制備裝置在進行制備時會發***熱反應,使得裝置外殼穩定較高,工作人員直接接觸有燙傷風險,通過設置防燙隔膜11,防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料,能夠很好的防止工作人員被燙傷,很好的體現了該裝置的防燙性。推薦的,高效攪拌裝置2是由內部頂部中間部位的旋轉搖勻轉盤12。哪家的蝕刻液價格比較低?
其中輸送裝置借由至少一呈順時針方向轉動的滾輪帶動基板由噴灑裝置的下端部朝向風刀裝置的***風刀的下端部的方向移動。如上所述的蝕刻方法,其中風刀裝置分別借由一設置于該輸送裝置的上端部的***風刀與一設置于該輸送裝置的下端部的第二風刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此,本實用新型所產生的技術效果:本實用新型的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異常現象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優勢。附圖說明圖1:傳統擋液板結構的整體設置示意圖。圖2:本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的整體結構示意圖。圖3:本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖4:本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖5:本實用新型擋液板結構其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖6:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的整體結構示意圖。如何選擇一家好的做蝕刻液的公司。上海天馬用的蝕刻液蝕刻液推薦貨源
蝕刻液的發展趨勢如何。安徽銀蝕刻液蝕刻液主要作用
伸縮桿12下端固定安裝有圓環塊13,圓環塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14,分隔板2與承載板3相互垂直設置,電解池4內部底端的傾斜角度設計為5°,進液管8的形狀設計為l型,且進液管8貫穿分隔板2設置在進液漏斗6與伸縮管9之間,圓環塊13通過伸縮桿12活動安裝在噴頭10上方,且噴頭10通過伸縮管9活動安裝在電解池4上方,通過設置有伸縮管9與伸縮桿12,能夠在蝕刻液通過進液管8流入到電解池4中時,啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動,從而通過圓環塊13配合伸縮管9帶動噴頭10向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護電解池4的功能;分隔板2右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵16,增壓泵16下端與電解池4之間連接有回流管15,增壓泵16上端與進液管8之間連接有一號排液管17,回流管15內部左端設置有一號電磁閥18,回流管15與進水管27的形狀均設計為l型,通過在增壓泵16下端設置有回流管15,能夠在蝕刻液電解后,啟動增壓泵16并打開一號電磁閥18,將蝕刻液通過回流管15抽入到一號排液管17中,并由進液管8導入到伸縮管9中,直至蝕刻液由噴頭10重新噴到電解池4中。安徽銀蝕刻液蝕刻液主要作用