過濾器的出液管自動上行離開儲存罐,將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產車間移動至自動灌裝車間中,將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內的鋁蝕刻液分裝。本實用新型除上述技術方案外,還包括以下技術特征:進一步的是,所述地磅的頂部平臺中設置有兩條卡塊,所述卡塊與平臺之間形成一插槽;所述氣動夾緊機構包括氣缸和壓緊塊,所述壓緊塊位于所述插槽中,所述氣缸的伸縮桿與所述壓緊塊固連。進一步的是,所述拖車的頂部設置有一圈圍設在所述儲存罐外部的護欄。進一步的是,所述拖車的頂部設置有一集液盒,所述儲存罐安裝在所述集液盒中。進一步的是,所述拖車的頂部于所述儲存罐的旁側設置有集液腔室。與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:1.將原有的大型儲存罐更換成數個小型儲存罐,并采用液壓升降式拖車帶著儲存罐在鋁蝕刻液生產車間與自動灌裝車間之中周轉,如此便可為鋁蝕刻液生產設備配備全自動灌裝線,即提高了單瓶灌裝精度和效率,又降低了企業的人力成本投入;2.將原有的大型儲存罐更換成數個小型儲存罐,在儲存罐內在進液時,其它儲存罐可以進行定量灌裝,提高了鋁蝕刻液的生產效率。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案。BOE蝕刻液廠家直銷價格。深圳蝕刻液銷售電話
其中輸送裝置借由至少一呈順時針方向轉動的滾輪帶動基板由噴灑裝置的下端部朝向風刀裝置的***風刀的下端部的方向移動。如上所述的蝕刻方法,其中風刀裝置分別借由一設置于該輸送裝置的上端部的***風刀與一設置于該輸送裝置的下端部的第二風刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此,本實用新型所產生的技術效果:本實用新型的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異常現象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優勢。附圖說明圖1:傳統擋液板結構的整體設置示意圖。圖2:本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的整體結構示意圖。圖3:本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖4:本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖5:本實用新型擋液板結構其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖6:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的整體結構示意圖。廣州江化微的蝕刻液蝕刻液什么價格什么樣的蝕刻液可以蝕刻鋁同時保護銅?
以及一設置于基板下方的第二風刀,其中***風刀與第二風刀分別吹出一氣體至基板。如上所述的蝕刻設備,其中蝕刻設備可進一步設置有一噴灑裝置,噴灑裝置相對于風刀裝置一端而設置于擋液板結構的另一端部。如上所述的蝕刻設備,其中噴灑裝置噴灑一藥液至基板上。如上所述的蝕刻設備,其中擋液板結構與基板的垂直距離介于8mm至15mm之間。如上所述的蝕刻設備,其中滾輪呈順時針方向轉動,并帶動基板由噴灑裝置下端部朝向風刀裝置的***風刀下端部的方向移動。如上所述的蝕刻設備,其中氣體遠離***風刀與第二風刀的方向分別與基板的法線方向夾設有一第三夾角。如上所述的蝕刻設備,其中第三夾角介于20度至35度之間。再者,為了達到上述實施目的,本實用新型另研擬一種蝕刻方法,于一濕式蝕刻機的一槽體內運行;首先,設置一擋液板結構,其中擋液板結構設置有復數個宣泄孔;接著,使用一設置于擋液板結構下方的輸送裝置輸送一基板,以經過一噴灑裝置進行一藥液噴灑;接續,使用一設置于擋液板結構下方的風刀裝置對基板吹出一氣體,以使基板干燥;***,氣體經由宣泄孔宣泄。如上所述的蝕刻方法。
以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風刀裝置40的該***風刀41下端部的方向移動。該風刀裝置40設置于該擋液板結構10的一端部,該風刀裝置40包括有一設置于該基板20上方的***風刀41,以及一設置于該基板20下方的第二風刀42,其中該***風刀41與該第二風刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向,以使該基板20上該藥液51減少,其中該氣體43遠離該***風刀41與該第二風刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。此外,請一并參閱圖8與圖9所示,為本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔的態樣,當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖8所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現象,亦可達到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外。哪家的蝕刻液蝕刻效果好?
伸縮桿12下端固定安裝有圓環塊13,圓環塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14,分隔板2與承載板3相互垂直設置,電解池4內部底端的傾斜角度設計為5°,進液管8的形狀設計為l型,且進液管8貫穿分隔板2設置在進液漏斗6與伸縮管9之間,圓環塊13通過伸縮桿12活動安裝在噴頭10上方,且噴頭10通過伸縮管9活動安裝在電解池4上方,通過設置有伸縮管9與伸縮桿12,能夠在蝕刻液通過進液管8流入到電解池4中時,啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動,從而通過圓環塊13配合伸縮管9帶動噴頭10向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護電解池4的功能;分隔板2右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵16,增壓泵16下端與電解池4之間連接有回流管15,增壓泵16上端與進液管8之間連接有一號排液管17,回流管15內部左端設置有一號電磁閥18,回流管15與進水管27的形狀均設計為l型,通過在增壓泵16下端設置有回流管15,能夠在蝕刻液電解后,啟動增壓泵16并打開一號電磁閥18,將蝕刻液通過回流管15抽入到一號排液管17中,并由進液管8導入到伸縮管9中,直至蝕刻液由噴頭10重新噴到電解池4中。哪家的蝕刻液的價格低?蘇州銀蝕刻液蝕刻液費用
天馬微電子用的哪家的蝕刻液?深圳蝕刻液銷售電話
本發明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術:以往,在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液,該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,并且該蝕刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的過氧化氫、%至5重量%的磷酸、%至%的膦酸系化合物及氨所構成的水溶液將pH值調整為7至9。但是,含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題,含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩定性的問題。現有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特許第4471094號說明書。技術實現要素:發明所要解決的問題本發明是鑒于所述實際情況而成,其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法,所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,而且毒性低,保存穩定性優異。解決問題的技術手段本發明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用,并且含有:選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸;以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。深圳蝕刻液銷售電話