在上述硅烷系偶聯劑的含量處于上述含量范圍內的情況下,能夠調節添加劑本身凝膠化,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導體工序的去離子水,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發明的組合物總重量的2~45重量%來包含。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。上述蝕刻液組合物中說明的、對于添加劑選擇等的一切內容均可以同樣地應用于本發明的選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。具體而言,提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法、由此選擇的硅烷系偶聯劑以及包含該硅烷系偶聯劑的蝕刻方法。哪家的蝕刻液性價比比較高?上海天馬用的蝕刻液蝕刻液價格
本實用新型涉及資源回收再利用領域,特別是涉及含銅蝕刻液氣液分離裝置。背景技術:線路板生產工業中,會對已經使用于蝕刻線路板的含銅蝕刻廢液進行回收利用,在回收過程中,廢液在加熱器中通過蒸汽進行換熱,換熱完的廢液在高溫狀態下進入分離器,會在分離器中發生閃蒸,閃蒸產生的二次蒸汽中,攜帶有大小不等的液滴,現有技術因缺乏有效的分離氣液的手段,含有銅的液體隨著蒸汽被排走,導致了產品發生損失。技術實現要素:基于此,有必要針對現有技術氣液分離率低的問題,提供一種含銅蝕刻液氣液分離裝置。一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器,所述分離器設有液體入口、蒸汽出口及濾液出口,所述液體入口用于將加熱器產生的液體輸入至分離器中,所述液體入口處設有減壓閥,所述蒸汽出口處設有真空泵、除霧組件及除沫組件,所述除霧組件用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,所述除沫組件用于將經除霧組件除霧的氣體進行除沫。在其中一個實施例中,所述除霧組件為設有多個平行且曲折的通道的折流板。在其中一個實施例中,所述除沫組件為絲網。在其中一個實施例中,所述分離器設有液位計、液位開關、液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個實施例中。南京ITO蝕刻液蝕刻液推薦貨源江蘇省有哪些公司可以做蝕刻液。
裝置主體1的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐21,裝置主體1的內部中間部位固定連接有連接構件11,裝置主體1的內部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥10,連接構件11的內側固定連接有過濾部件9,裝置主體1的內部底端另一側固定連接有收集倉8,收集倉8的另一側底部固定連接有密封閥門7,過濾部件9的頂端兩側活動連接有滑動蓋24,過濾部件9的內部中間兩側固定連接有收縮彈簧管25,連接構件11的內側兩端嵌入連接有螺紋管27,連接構件11的內部中間兩側活動連接有活動軸28,連接構件11的內側中間兩側嵌入連接有密封軟膠層29。推薦的,硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環22,在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候,需要將儲罐進行密封,密封環22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封,使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內部形成一個密閉的空間,避免環境外部的雜質進入儲罐內,有效的提高了裝置使用的密封性。推薦的,連接構件11的兩側嵌入連接有海綿層12,在使用裝置制備蝕刻液的時候,需要通過連接構件11將裝置主體1內部的部件進行連接,在旋轉連接構件11的兩側時,操作人員的手會與連接構件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收。
從蝕刻速度及安全性的觀點來看,推薦為40℃至70℃,更推薦為45℃至55℃。處理時間視對象物的表面狀態及形狀等而變化,通常為30秒至120秒左右。實施例然后,對本發明的實施例與比較例一起進行說明。此外,本發明并非限定于下述實施例而解釋。制備表1及表2所示的組成的各蝕刻液,在下述條件下進行蝕刻試驗及蝕刻液的穩定性試驗。此外,表1及表2所示的組成的各蝕刻液中,剩余部分為離子交換水。另外,表1及表2所示的鹽酸的濃度為以氯化氫計的濃度。(蝕刻試驗)通過濺鍍法在樹脂上形成50nm的鈦膜,然后成膜200nm的銅膜,進而通過電鍍銅在該銅膜上形成圖案,將所得的基板用作試樣。使用銅的蝕刻液,將試樣的濺鍍銅膜溶解而使鈦膜露出。然后,將試樣浸漬在實施例1至實施例12及比較例1至比較例3的蝕刻液中進行蝕刻實驗。將實驗結果示于表1。[表1]像表1所示那樣,本發明的蝕刻液可在不蝕刻銅的情況下選擇性地蝕刻鈦。(蝕刻液的穩定性試驗)將實施例1、實施例7、實施例12及比較例4的蝕刻液在室溫下放置2天后,進行所述蝕刻試驗,比較放置前后的蝕刻速度。將比較結果示于表2。[表2]像表2所示那樣,本發明的蝕刻液的保存穩定性優異,即便在長期保存的情況下也可穩定地選擇性地蝕刻鈦。BOE蝕刻液的主要成分。
也不能在回收結束后對裝置內部進行清理的問題。為實現上述目的,本發明提供如下技術方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體,所述裝置主體內部中間位置固定安裝有分隔板,所述分隔板左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板,所述承載板上端表面放置有電解池,所述電解池內部中間位置設置有隔膜,所述裝置主體上端表面靠近右側安裝有進液漏斗,所述進液漏斗上設置有過濾網,所述裝置主體內部靠近頂端設置有進液管,所述進液管左端連接有伸縮管,所述伸縮管下端安裝有噴頭,所述裝置主體上端表面靠近左側固定安裝有液壓缸,所述液壓缸下端安裝有伸縮桿,所述伸縮桿下端固定安裝有圓環塊,所述圓環塊與噴頭之間固定連接有連接桿,所述分隔板右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵,所述增壓泵下端與電解池之間連接有回流管,所述增壓泵上端與進液管之間連接有一號排液管,所述回流管內部左端設置有一號電磁閥,所述裝置主體左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵,所述抽氣泵下方設置有集氣箱,所述集氣箱與抽氣泵之間連接有排氣管,所述電解池下端連接有二號排液管,所述二號排液管內部上端設置有二號電磁閥,所述裝置主體內部底端靠近左側設置有傾斜板。蘇州博洋生產BOE蝕刻液。合肥ITO蝕刻液蝕刻液什么價格
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且過濾部件能將內部的過濾板進行拆卸更換,有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,連接構件,連接構件設置在攪拌倉的底部,連接構件與攪拌倉固定連接,連接構件能將裝置主體內部的兩個構件進行連接并固定,且在將兩構件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,有效的提高了裝置連接的實用性。附圖說明圖1為本實用新型的整體結構示意圖;圖2為本實用新型的過濾部件剖視圖;圖3為本實用新型的連接構件剖視圖;圖4為本實用新型的內部構件連接框架圖。圖中:1、裝置主體,2、支撐腿,3、電源線,4、單片機,5、控制器,6、防滑紋,7、密封閥門(z45x-16),8、收集倉,9、過濾部件,10、常閉式密封電磁閥(zca-15biii02-10),11、連接構件,12、海綿層,13、攪拌電機(5ik),14、去離子水儲罐,15、磷酸儲罐,16、醋酸儲罐,17、硝酸儲罐,18、陰離子表面活性劑儲罐,19、聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,20、氯化鉀儲罐,21、硝酸鉀儲罐,22、密封環,23、攪拌倉,24、滑動蓋,25、收縮彈簧管,26、過濾板,27、螺紋管,28、活動軸,29、密封軟膠層。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖。上海天馬用的蝕刻液蝕刻液價格