coulson的干冰清洗技術在芯片(半導體)制造行業中的應用是一種高效、精密且環保的清潔方法,尤其適用于對污染極度敏感、不能接觸液體或化學溶劑、且需要避免物理損傷的精密設備和組件。以下是其在該行業的主要應用場景、優勢和技術要點:一、 **應用場景晶圓制造設備維護與清潔:等離子體刻蝕/沉積設備腔室: 這些腔室(如反應室、氣體噴淋頭、靜電卡盤邊緣、腔壁、擋板)內部會積累聚合物、殘留光刻膠、金屬沉積物、副產物等頑固污染物。干冰清洗能有效去除這些沉積物,無需拆卸設備或使用腐蝕性化學品,***減少設備停機時間。化學氣相沉積/物***相沉積設備: 類似刻蝕設備,腔室內部、噴頭、加熱器等部件上的薄膜沉積殘留物需要定期去除。離子注入機部件: 清潔束流線、靶室、掃描系統等部件上的污染物。光刻機**部件: 清潔機臺框架、導軌、防護罩等非光學**部件上的微粒和有機物(如潤滑脂、指紋、環境塵埃),避免污染物遷移到**光學區域。注意:不能直接用于清潔極其精密的光學元件(如透鏡、反射鏡)。擴散爐管及舟: 清潔爐管口、石英舟等部件上的氧化物、摻雜劑殘留等。干冰清洗發揮強大功能,清潔不留痕。其流程合理,優勢為企業降本增效。山西全氣動干冰清洗服務費
封裝測試環節:保障芯片互連與可靠性封裝是芯片與外部電路連接的關鍵環節,污染物會導致引線鍵合失效、封裝密封性下降,干冰清洗在此環節聚焦于 “接觸面潔凈度” 提升:1. 引線鍵合前的焊盤清潔清潔對象:芯片(Die)的焊盤(Au、Cu、Al 焊盤)、引線框架的焊區。污染問題:焊盤表面可能存在氧化層(如 Al?O?)、有機污染物(光刻膠殘留、手指印油脂),會導致鍵合引線(金絲、銅絲)與焊盤的結合強度下降(鍵合拉力不足),甚至出現虛焊,影響芯片導電性和可靠性。干冰清洗作用:以低壓力(0.1-0.2MPa)噴射超細干冰顆粒,精細去除焊盤表面的氧化層和有機污染物,且不損傷焊盤(焊盤厚度通常* 1-5μm)。相比傳統等離子清洗,酷爾森icestorm干冰清洗可去除更深的微小凹坑內的污染物,且無等離子體可能帶來的焊盤表面損傷(如 Cu 焊盤的晶粒粗化)。內蒙古全氣動干冰清洗24小時服務干冰清洗功能廣多樣,清潔無死角盲區。流程高效便捷,優勢多多。
雪花清洗(二氧化碳噴雪)是一種通過液態二氧化碳對產品表面進行清潔和預處理的過程。供應介質是液態二氧化碳和壓縮空氣(或氮氣),整個清潔或預處理過程是干燥、無殘留和環保的。在噴射過程中,液態CO2通過熱力學和物理過程轉化為直徑為1至100μm的壓實固態CO2雪粒。這些二氧化碳雪粒的溫度為-78.5°C,二氧化碳雪粒被添加到壓縮空氣中,并在噴嘴加速形成均勻的自由射流。根據噴嘴的不同,形成具有高水平清潔能力的圓形射流(圓形噴嘴)或扁平射流(扁平噴嘴)。這種自由噴射可用于清潔和預處理產品表面。
酷爾森coulson雪花清洗機一種很環保的表面處理工藝,對產品表面不會造成損傷對產品表面不會造成損傷。汽車零部件噴涂預處理,光學器件,醫療設備,半導體,航空等表面敏感工件。
注意事項針對極敏感部件(如光刻機鏡頭、光罩鍍鉻層),需采用“超細亞微米干冰顆粒”(0.5-1μm)和“脈沖式低壓力噴射”,避免氣流沖擊導致的微損傷。清潔過程需在潔凈室內**區域進行,配合高效過濾器(HEPA)回收剝離的污染物,防止二次擴散。綜上,酷爾森icestorm干冰清洗通過解決半導體行業“微污染去除難、精密部件易損傷、清潔與效率矛盾”三大痛點,成為提升芯片良率(尤其先進制程,如7nm及以下)和生產穩定性的**工藝輔助技術,在半導體國產化趨勢中,其應用場景正從設備維護向晶圓直接清潔(如先進封裝前的焊盤處理)進一步拓展。在半導體行業,生產環境(如 Class 1 級潔凈室)和產品(晶圓、芯片、精密部件)對 “零污染、無損傷、超高潔凈度” 的要求堪稱工業領域**嚴苛標準之一。干冰清洗憑借無殘留、化學惰性、低溫無損、適配精密場景等特性,成為解決半導體生產中 “微污染物去除、設備維護、產品良率提升” 的關鍵技術。食品行業,清潔和衛生是關鍵!酷爾森干冰清洗不使用化學試劑,并能有效清潔儀器,為食品行業做出巨大貢獻。
熱處理設備清潔:應用對象: 熱處理爐(氣氛爐、真空爐、淬火槽)、料盤、工裝夾具、淬火介質循環系統。問題: 爐膛內壁、輻射管、馬弗罐上的積碳、油污;料盤和夾具上的氧化皮、淬火鹽殘留、油漬;管道內壁結垢。干冰優勢: 有效去除積碳和油污,恢復爐膛熱效率,保證爐內氣氛純凈和溫度均勻性。清潔料盤夾具確保工件定位準確和熱處理效果。清理管道提高介質流動性和熱交換效率。無水無化學殘留,不影響熱處理工藝。煙氣處理與環保設備清潔:應用對象: 除塵器濾袋/濾筒、管道、風機葉輪、換熱器、SCR/SNC反應器、消白煙設備。問題: 濾袋/濾筒堵塞;管道和風機葉輪積灰(有時粘性大);換熱器表面結垢;催化劑模塊堵塞。干冰優勢: 在線清潔濾袋/濾筒效果***,延長濾材壽命,維持系統負壓和通風量。高效去除各種粉塵和結垢,恢復設備效率。清潔催化劑模塊保持其活性。無水,避免灰分板結更難清理。電氣設備與控制系統:應用對象: 電機外殼、控制柜、配電盤、傳感器(高溫計、測厚儀等)、接線盒。酷爾森環保科技(上海)有限公司的干冰清洗設備可以解決上述問題。干冰清洗功能廣適用,清潔不留隱患。流程高效便捷,優勢多多。西藏便攜式干冰清洗聯系方式
干冰清洗的功能獨特強大,可清潔復雜結構物體。流程有序高效,優勢明顯。山西全氣動干冰清洗服務費
干冰清洗作用:采用超細干冰顆粒(1-3μm) 配合極低壓力(0.05-0.2MPa) 噴射,利用干冰的低溫(-78.5℃)使表面污染物脆化,同時通過壓縮空氣的動能剝離顆粒,且干冰升華后*產生 CO?氣體(惰性,不與光罩材料反應),無任何殘留。無需接觸光罩表面,避免機械劃傷;無水分引入,適配光罩對 “***干燥” 的要求(水分可能導致表面氧化或殘留水漬)。2. 晶圓表面預處理與中間清潔清潔對象:未加工晶圓(裸片)、沉積 / 刻蝕后的晶圓表面。污染問題:裸片表面可能殘留切割后的硅粉、金屬雜質(如 Fe、Cu),影響后續氧化層(SiO?)生長的均勻性;沉積(CVD/PVD)后,晶圓表面可能附著未反應的靶材顆粒(如 Al、Cu);刻蝕(等離子刻蝕)后可能殘留聚合物殘渣(如氟碳聚合物),若未去除會導致后續薄膜層間結合不良。酷爾森icestorm干冰清洗作用:針對裸片:去除表面微米級硅粉和金屬顆粒,且不損傷晶圓表面的原子級平整度(Ra≤0.1nm);針對刻蝕后殘留:利用干冰低溫使聚合物殘渣脆化(聚合物在低溫下硬度提升 3-5 倍),通過精細噴射壓力(0.1-0.3MPa)剝離,避免傳統等離子清洗可能導致的晶圓表面刻蝕過度。山西全氣動干冰清洗服務費