賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-03-08

臥式爐加熱裝置一般采用電阻絲、硅碳棒等作為發熱元件。當電流通過這些加熱元件時，電能轉化為熱能，進而使爐腔內部溫度升高。為確保爐腔內溫度均勻，加熱元件的布局經過精心設計，可能呈環繞爐腔或特定排列方式。一些先進的臥式爐還配備分區加熱控制功能，能夠針對爐腔不同區域進行單獨溫度調節，以滿足復雜工藝對不同部位溫度的差異化需求，確保半導體材料在加熱過程中受熱均勻，保障工藝質量。?

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