深圳市科曼實驗室工程有限公司2025-08-14

改造后驗收需覆蓋多個關鍵維度。潔凈度檢測是重心，采用激光粒子計數器在靜態和動態工況下分別檢測≥0.5μm 和≥5μm 粒子濃度，確保符合設計等級。壓差測試需驗證各功能區間的定向氣流組織，相鄰不同潔凈度區域壓差應≥10Pa，且保持穩定。溫濕度控制能力測試需連續監測 24 小時，波動范圍應符合生產工藝要求（通常溫度 20 - 24℃，相對濕度 45% - 65%）。還需進行高效過濾器完整性檢測，采用掃描法檢測泄漏率，單個過濾器泄漏率不得超過 0.01%。此外，電氣系統的接地電阻、照度均勻性，以及排水系統的防倒灌、防污染設計也需納入驗收范圍，終形成完整的驗收報告并留存歸檔。

本回答由 深圳市科曼實驗室工程有限公司 提供