廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-08-14

定期檢查真空泵油位與油質(zhì)，及時(shí)更換老化真空泵油；清潔氣體的過濾器，防止雜質(zhì)堵塞影響氣體流量與純度；檢查烤箱密封膠條是否有破損、老化，確保密封性良好；每月校準(zhǔn)溫度傳感器與氧濃度傳感器，保證數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司提供詳細(xì)維護(hù)手冊(cè)與專業(yè)售后支持，讓設(shè)備維護(hù)更輕松。

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