深圳市慧吉時代科技有限公司2024-10-29

納米級平臺研制的一個關鍵部件是支承導軌，常規的接觸摩擦副式導軌，比如交叉滾子導軌、直線滾珠導軌等，會因為導軌和滾珠之間的摩擦磨損而對平臺的精度及其穩定性帶來不利影響，難以長期穩定的實現納米級精度要求。基于空氣軸承的氣浮式導軌由于沒有直接的機械接觸，運動件和支承件之間的支承介質是高壓空氣，因而可以時間很高的精度，并保持長期的精度穩定性。所以，才用空氣軸承作為導軌組件是實現納米級平臺的一個較優i選項。

本回答由 深圳市慧吉時代科技有限公司 提供