主要負責研發和銷售工作該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。BG-2-也截止，繼電器觸點釋放，這樣的線路起到了光電控制作用。圖⑥（b）是暗通的光控線路，與圖⑥（a）相比電路中2CU與R-2-的位置對調了。當有光照時2CU內阻變小，它兩端的壓降減小，這樣使BG-1-截止，BG-2-也截止，繼電器觸點不吸合，當無光照時2CU的內阻增大，它兩端的壓降增大，使BG-1-導通，BG-2-也導通，繼電器觸點吸合。三、2DU型硅光電二極管在電路中的接法：我廠生產的2DU型硅光電二極管的前極、后極以及環極可按圖①（b）所示來分辨。2DU型硅光電二極管使用時電原理圖見圖⑦，2DU管的后極接電源的負極，環極接電源的正極，前極通過負載電阻R-L-接到電源的正極。有了R-L-使環極的電位比前極電位高，這樣表面漏電流從環極流出而不經過前極。世華高硅光電二極管性能穩定，技術成熟。福州硅光硅光電二極管廠家

    6)在sio2層104、si3n4層105上刻出接觸孔，然后濺射金屬，濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極106；7)在襯底107的背面做金屬化處理形成背面電極108。進一步的，所述的襯底107采用電阻率20～100為ohm·cm的低電阻率硅材料；襯底107直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸；所述的高反層109是由折射率～～，通過化學氣相淀積或光學鍍膜技術生成；所述的外延層101的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層101的厚度與耗盡區寬度相當；所述的保護環102為as離子源注入，注入劑量為1e15～2e15。所述的有源區103為b離子源注入，注入劑量為1e15～2e15；所述的正面金屬電極106是在濺射al之后刻蝕形成。具體的，包括以下操作：1)以在n+摻雜硅材料作為襯底107，在其上通過化學氣相淀積或光學鍍膜生成厚度3～5um的高反層109；其中。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展。廈門硅光電二極管價格世華高專門供應硅光電二極管。

    本發明具有以下有益的技術效果：本發明提供的高速高響應度的硅基光電二極管，通過適當減小耗盡區寬度和減小擴散區電阻率，耗盡區寬度減小導致響應度的降低，本發明通過增加高反層使得光子在耗盡區中二次吸收來補償；高反層的形成使得器件保持對長波響應度的同時，降低響應時間；由于擴散區(耗盡區以外的區域)材料電阻率很低，擴散區阻抗很小，因此擴散時間很短；從而實現硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。本發明提供的高速高響應度的硅基光電二極管，由于通過低阻材料降低了擴散區電阻，縮短了擴散時間；而高反層的設置提高了長波的吸收效率，降低了耗盡區的物理厚度，縮短了漂移時間，并且在其上開孔減小了擴散區的阻抗；襯底采用低電阻率材料，背面不用進行減薄注入，直接背面金屬化形成背面電極，避免了加工過程中碎片的情況。附圖說明圖1為本發明的結構圖示意圖；圖2為本發明的等效電路示意圖；圖3為本發明的高反層原理示意圖；圖4為多孔結構高反層的示意圖；圖5-1～圖5-7分別為本發明的逐層制備示意圖。圖6為本發明的硅基光電二極管的響應度測試曲線；圖7為本發明的硅基光電二極管的頻率特性測試曲線。

    深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。硅光電二極管是當前普遍應用的半導體光電二極管。下面我們談談2CU和2DU兩種類型硅光電二極管的種類、構造以及應用上的一些問題。種類與構造一、2CU型硅光電二極管：2CU型硅光電二極管是用N型硅單晶制作的，根據外形尺寸的大小它又可分2CU-1-，2CU-2-，2CU-3-等型號，其中2CU-1-與2CU-2-體積較大，2CU-3-稍小些（見圖1（a））。這種類型的光電二極管多用帶透鏡窗口的金屬管殼封裝，下端有正、負兩個電極引線，它們分別與管心中的光敏面（P型層）和N型襯底相連。光線從窗入后經透鏡聚焦在管心上，由于這種聚光作用增強了光照強度，從而可以產生較大的光電流。硅光電二極管哪家好？世華高好？

    具體實施方式下面結合實施例對本發明做進一步詳細描述，所述是對本發明的解釋而不是限定。參見圖1～圖4，一種高速高響應度的硅基光電二極管，包括背面設有背面電極108的襯底107；襯底107正面依次設有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106；所述的高反層109上開設有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極106相對應的刻蝕區；所述的注入層包括保護環102以及設在其內的有源區103；所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區103相連接。進一步的，所述的襯底107為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上；在外延層101上分別以n型離子注入形成保護環102，以p型離子注入形成有源區103；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104，所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層105；所述的正面金屬電極106是在濺射后經刻蝕成形。參見圖2所示的光電二極管等效電路示意圖，rsh為光電二極管關斷阻抗，rsh＝∞，rs為光電二極管串聯電阻。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。世華高硅光電二極管助你實現智能生活。常州硅光硅光電二極管特性

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    深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。本發明屬于半導體器件技術領域，涉及一種高速高響應度的硅基光電二極管及其制備方法。背景技術：硅基光電二極管由于其材料成本造工藝簡單，響應度峰值波長為940nm，在3dsensor、紅外測距、光通訊等領域有著廣泛的應用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波長相關，波長越長，入射越深，因此為了提高響應度，傳統光電二極管均選用高阻材料(電阻率2000～5000ohmcm)來提升耗盡區寬度，從而達到提高響應度的目的。隨著光電二極管在光通訊中的廣泛應用，光電二極管的響應速度要求越來越高，常規硅基光電二極管響應時間為納秒級，已無法滿足數據傳輸率1gbps以上的應用場景，因此。福州硅光硅光電二極管廠家