結構簡單易于實現，不改變原有設備的主要結構，只增加少量部件和對控制程序的改造，改造費用增加很少，以很少的設備投資，既減少了產品生產過程中氮氣使用成本，又提高了系統的可靠性；本真空焊接系統通過電磁鐵和磁環進行磁性連接，可有效提升石英玻璃罩與下固定板之間的密封性能，以保證生產產品的品質，從而提高真空焊接系統的實用性。附圖說明圖1為本實用新型正面結構示意圖。圖2為本實用新型下固定板的結構示意圖。圖3為本實用新型模塊圖。圖中：1、石英玻璃罩；2、上密封圈；3、上固定板；4、plc控制器；5、下密封圈；6、電磁鐵；7、下固定板；8、耐高溫傳輸管道；9、真空電磁閥；10、微型真空泵；11、氮氣電磁閥；12、氮氣充氣泵；13、溫度檢測儀；14、熔深檢測儀；15、卡槽；16、感應線圈；17、磁環。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖1-3。硅光電二極管型號哪家棒！世華高。中山進口硅光電二極管二極管

    深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。本發明屬于半導體器件技術領域，涉及一種高速高響應度的硅基光電二極管及其制備方法。背景技術：硅基光電二極管由于其材料成本造工藝簡單，響應度峰值波長為940nm，在3dsensor、紅外測距、光通訊等領域有著廣泛的應用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波長相關，波長越長，入射越深，因此為了提高響應度，傳統光電二極管均選用高阻材料(電阻率2000～5000ohmcm)來提升耗盡區寬度，從而達到提高響應度的目的。隨著光電二極管在光通訊中的廣泛應用，光電二極管的響應速度要求越來越高，常規硅基光電二極管響應時間為納秒級，已無法滿足數據傳輸率1gbps以上的應用場景，因此。嘉興硅光電硅光電二極管特性硅光電二極管電路哪家好？世華高。

    世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。高反層109由高折射率薄膜與低折射率薄膜交替疊加組成；2)利用等離子刻蝕機在高反層109上以干法刻蝕開設刻蝕孔，并刻蝕掉與正面金屬電極106相對的高反層109；3)刻蝕完成后，在高反層109上以化學氣相淀積的方法生長電阻率500～1000ohm·cm的n-外延層，其厚度與耗盡區寬度相當；4)在外延層101上以as離子源進行n型離子注入，注入劑量1e15～2e15，形成保護環102。與保護環102間距12～20um，在外延層101上以b離子源進行p型離子注入，注入劑量1e15～2e15，形成有源區103；5)在保護環102和有源區103上通過熱氧化法生成sio2層104，在sio2層上方淀積生長si3n4層105；6)接連刻穿si3n4層和sio2層形成接觸孔，然后濺射al，并將濺射層刻蝕形成正面金屬電極106；7)在襯底107背面直接進行金屬化處理形成背面電極108。下面給出具體的實施例。實施例11)在n+重摻雜的襯底107上濺射生成厚度3～5um的高反層109，2)利用等離子刻蝕機干法刻蝕工藝在高反層109刻孔；3)高反層109上通過淀積的方法生長n-外延層101。

    通過適當減小耗盡區寬度和減小擴散區電阻率，耗盡區寬度減小導致響應度的降低，再通過增加高反層使得光子在較薄的耗盡區中二次吸收來補償，以減小耗盡區變薄對光響應度的影響(參見圖3)；高反層的形成使得器件保持對長波響應度的同時，降低響應時間；進一步，通過在高反層上刻孔形成均勻的電流路徑同時獲得高的響應速度(參見圖4)；由于擴散區(耗盡區以外的區域)材料電阻率很低，擴散區阻抗很小。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。硅光電二極管哪家好？世華高好？

    深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。硅光電二極管是當前普遍應用的半導體光電二極管。下面我們談談2CU和2DU兩種類型硅光電二極管的種類、構造以及應用上的一些問題。種類與構造一、2CU型硅光電二極管：2CU型硅光電二極管是用N型硅單晶制作的，根據外形尺寸的大小它又可分2CU-1-，2CU-2-，2CU-3-等型號，其中2CU-1-與2CU-2-體積較大，2CU-3-稍小些（見圖1（a））。這種類型的光電二極管多用帶透鏡窗口的金屬管殼封裝，下端有正、負兩個電極引線，它們分別與管心中的光敏面（P型層）和N型襯底相連。光線從窗入后經透鏡聚焦在管心上，由于這種聚光作用增強了光照強度，從而可以產生較大的光電流。硅光電二極管型號哪家好？世華高好！徐州硅光硅光電二極管型號

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    具體實施方式下面結合實施例對本發明做進一步詳細描述，所述是對本發明的解釋而不是限定。參見圖1～圖4，一種高速高響應度的硅基光電二極管，包括背面設有背面電極108的襯底107；襯底107正面依次設有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106；所述的高反層109上開設有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極106相對應的刻蝕區；所述的注入層包括保護環102以及設在其內的有源區103；所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區103相連接。進一步的，所述的襯底107為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上；在外延層101上分別以n型離子注入形成保護環102，以p型離子注入形成有源區103；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104，所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層105；所述的正面金屬電極106是在濺射后經刻蝕成形。參見圖2所示的光電二極管等效電路示意圖，rsh為光電二極管關斷阻抗，rsh＝∞，rs為光電二極管串聯電阻。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。中山進口硅光電二極管二極管