將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件上進行鍵合,鍵合時間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對待加工表面進行拋光;s103:通過磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨,來對待加工表面進行減薄。可選地,本發明實施例中,s102和s103可以交替進行,也就是說,控制磁轉子旋轉一段時間后,控制磁轉子停止旋轉,并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉子旋轉,以此類推。本發明實施例中,通過磁轉子和噴頭交替工作,實現了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩定,速度快,控制性好,重復度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力。去除涂層,減薄用清洗劑是您的得力助手。南通性價比高的減薄用清洗劑價格
實現玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時,控制玻璃的擺動幅度,提高玻璃在減薄過程中的安全性。實施例六所述主厚度測量儀32與所述蝕刻區3的內壁相鄰,并且具有滑動結構以移動到豎直容納在所述玻璃加工治具4內的玻璃之中的靠外玻璃附近,從而便于對玻璃厚度進行檢測;具體的,在所述控制器的控制下,所述主厚度測量儀32通過向玻璃發射激光束來實時測量玻璃厚度并且在玻璃正經歷滑動處理的同時將關于測得厚度的信息發送到所述控制器;所述控制器實時將預設的目標厚度與從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度進行比較。如果確定從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度達到目標厚度,則所述控制器停止減薄處理等操作,并且將所述玻璃加工治具4向所述沖洗區2移動。較佳的,所述主厚度測量儀32可包括:發射器,其用于發射激光束;接收器,其用于接收被玻璃反射的光束;以及分析器,其用于分析接收器中接收的光束并且計算玻璃厚度。所述主厚度測量儀32還可包括空氣噴射器,用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于從發射器發射的激光束的那部分。在通過發射器發射激光束之前,所述主厚度測量儀32控制所述空氣噴射器。江蘇清洗效果好的減薄用清洗劑推薦廠家蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好?
本發明涉及玻璃減薄技術領域,具體涉及一種玻璃減薄設備。背景技術:隨著便攜式電子器件的發展,手機、平板等便攜式電子器件越來越纖細化及薄型化,因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板,目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設備的反應槽中,然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時間,使玻璃減薄液與玻璃反應,實現玻璃減薄。目前的浸泡式減薄法中,反應產物會懸浮于玻璃減薄液中,然后再粘附在玻璃上,造成不良品;并且,這種方法容易造成蝕刻不均,導致進行減薄后還需要進行拋光處理,提高了制備成本。鑒于上述缺陷,本發明創作者經過長時間的研究和實踐終于獲得了本發明。技術實現要素:為解決上述技術缺陷,本發明采用的技術方案在于,提供一種玻璃減薄設備,包括蝕刻區,用于對豎直容納在玻璃加工治具中的多個玻璃進行減薄處理;沖洗區,用于所述玻璃加工治具上的玻璃進行減薄前清潔和減薄后清潔;轉換區,用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區中,并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區卸載到外部;制動組件。
所述控制器進行第二次減薄厚度確認操作;具體的,通過設置于所述第三沖洗區2的第二輔助厚度測量儀進行厚度檢測,從而實現所述減薄厚度確認操作,當所述減薄厚度未達到目標厚度時,所述玻璃加工治具4可再次進入所述蝕刻區3內進行減薄處理。所述主厚度測量儀32設置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區3中并且實時測量玻璃厚度,使得玻璃可更準確地具有目標厚度;所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區2中,并且再次測量經歷過減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設置在所述蝕刻區3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作,并且使減薄玻璃的缺陷率降至;且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經歷減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設置在蝕刻區3中的主厚度測量儀32是否無法正確工作;所述第二輔助厚度測量儀設置在所述第三沖洗區2,從而在減薄后清洗終完成后,再次進行厚度檢測,從而檢測預從所述玻璃減薄生產線運出的玻璃是否符合標準,并進一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發明的較佳實施例,對本發明而言是說明性的,而非限制性的。本專業技術人員理解,在本發明權利要求所限定的精神和范圍內可對其進行許多改變,修改,甚至等效,但都將落入本發明的保護范圍內。減薄清洗劑,專業解決涂層過厚難題,提高產品良率。
可有效穩定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設置有若干豎槽,所述豎槽單側豎直有若干定槽,對應所述定槽設置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應所述豎槽的側邊設置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠離所述豎槽的側邊設置有所述側支撐件44,通過將所述固定塊分別設置于所述定槽內,從而實現所述側支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側板422上的所述側支撐件44的設置,從而實現對所述玻璃加工治具4上玻璃的側邊位置固定,同時,通過所述側板422上所述調節槽的設置,可實現所述側板422上所述側支撐件44的位置調節,從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的,對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結構,可通過調節所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結構正視圖;圖8為所述底支撐件的結構側視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。哪家公司的減薄用清洗劑的是有質量保障的?南京玻璃用減薄用清洗劑生產
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所述支撐條431和所述第二支撐條432一一平行對應設置,所述連接部433活動連接所述支撐條431和所述第二支撐條432,所述支撐條431固定設置于所述底座41上,所述接觸部434均勻設置在所述第二支撐條432上。同時可通過設置所述支撐條431的高度或所述支撐條431的固定位置從而調節所述底支撐件43的高度,如通過將上述支撐條431的兩端固定在兩所述豎直平板421上。較佳的,所述支撐條431和所述第二支撐條432上設置有磁性組,所述支撐條431和所述第二支撐條432在所述磁性組提供的磁性斥力作用下具有調節間隙。所述磁性組包括磁性件435和第二磁性件436,所述磁性件435和所述第二磁性件436分別設置于所述支撐條431和所述第二支撐條432上,且所述磁性件435和所述第二磁性件436之間具有磁性斥力,從而使所述第二支撐條432懸浮于所述支撐條431的上方。所述連接部433設置有限位孔437,所述限位孔437設置為腰型孔,所述支撐條431的水平兩側均設置有若干限位塊438,所述第二支撐條432的水平兩側均設置有若干第二限位塊439,所述限位塊438和所述第二限位塊439一一對應設置,對應設置的所述限位塊438和所述第二限位塊439均設置在同一所述連接部433的所述限位孔437內。南通性價比高的減薄用清洗劑價格