該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等,且該上孔徑a1小于該下孔徑a2,或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮,以維持毛細現象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題。當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現象,亦可達到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;為了必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,故該復數個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12上表面的藥液51水滴經由該復數個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖12所示)。另請參閱圖13所示,為本實用新型蝕刻設備的蝕刻方法的步驟流程圖,其中本實用新型蝕刻設備的蝕刻方法主要包括有下列步驟。哪家的蝕刻液配方比較好?廣州鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液產品介紹
本發明涉及銅蝕刻液技術領域,具體涉及一種酸性銅蝕刻液的生產工藝。背景技術:高精細芯片和顯示集成電路主要采用銅制程,其光刻工藝中形成銅膜層結構所需用的銅刻蝕液中主要的為過氧化氫系銅刻蝕液。過氧化氫系銅蝕刻液較其他銅刻蝕液體系(如三氯化鐵體系,過硫酸銨體系)具有不引人其他金屬離子在銅層表面或線路體系中,產物親和、友好、環境污染少,刻蝕效率高且使用壽命較長的特點。大部分過氧化氫系銅刻蝕液包括參與氧化的過氧化氫組分、參與溶解的無機酸/有機酸組分,以及部分銅緩蝕劑等各類添加三個部分。由于銅蝕刻液中各物質的反應為放熱反應,體系中又含有過氧化氫在制備銅蝕刻液的生產過程中需要保證生產安全。技術實現要素:本發明的目的在于,克服現有技術中存在的缺陷,提供一種銅蝕刻液大規模量產的生產工藝,該生產工藝溫控嚴格,生產過程中安全性高。為實現上述目的,本發明的技術方案是設計一種酸性銅蝕刻液的生產工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;第二步:配制和準備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應的原料罐中,經過過濾器循環過濾,備用。廣州哪家蝕刻液蝕刻液什么價格哪家的蝕刻液的價格低?
近年來,oled顯示器廣泛應用于手機和平板顯示。金屬銀以優異的電導率和載流子遷移率被廣泛應用于oled顯示器的陽極布線(ito/ag/ito)結構中。為了對此進行蝕刻,目前主要使用基于磷酸、硝酸、醋酸和硝酸鹽的濕蝕刻液(cna)。這樣的體系雖然能有效去除金屬銀,但在實際使用過程中仍會存在少量的銀殘留或銀再吸附沉積問題。4.本發明所要解決的技術問題在于如何解決現有的銀蝕刻液在使用過程中存在少量的銀殘留、銀再吸附沉積問題。5.本發明通過以下技術手段實現解決上述技術問題的:6.一種銀蝕刻液組合物,其成分由質量占比為40-60%磷酸、2-10%硝酸、%有機酸、%硝酸鹽、%含氮元素有機物、其余為水組成。
如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter,mm)。如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔為千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列方式。如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態樣或兩者的混合。如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔具有一***壁面,以及一第二壁面,且第二擋板具有一下表面,當宣泄孔為斜錐孔態樣時,***壁面與下表面的***夾角不同于第二壁面與下表面的第二夾角。如上所述的擋液板結構,其中當宣泄孔為斜錐孔態樣時,宣泄孔的上孔徑與下孔徑不相等。如上所述的擋液板結構,其中當宣泄孔為斜錐孔態樣時,宣泄孔的上孔徑小于下孔徑。如上所述的擋液板結構,其中當宣泄孔為斜錐孔態樣時,宣泄孔由第二擋板的下表面朝向上表面的方向漸縮。此外,為了達到上述的實施目的,本實用新型另提出一種蝕刻設備,設置于一濕式蝕刻機的一槽體內,蝕刻設備至少包括有一如上所述的擋液板結構、一基板、一輸送裝置,以及一風刀裝置;基板設置于擋液板結構的下方;輸送裝置設置于基板的下方,輸送裝置包括有至少一滾輪,其中滾輪與基板接觸以運行基板;風刀裝置設置于擋液板結構的一端部,風刀裝置包括有一設置于基板上方的***風刀。蝕刻液可以蝕刻什么金屬材質;
制備裝置主體1的內部中間部位活動連接有高效攪拌裝置2,制備裝置主體1的一側中間部位嵌入連接有翻折觀察板4,制備裝置主體1的底端固定連接有裝置底座5,裝置底座5的內部底部固定連接有成品罐6,裝置底座5的頂端一側固定連接有鹽酸裝罐7,裝置底座5的頂端另一側固定連接有硝酸裝罐8,高效攪拌裝置2的內部頂部中間部位活動連接有旋轉搖勻轉盤12,高效攪拌裝置2的內部頂部兩側活動連接有震蕩彈簧件14,震蕩彈簧件14的頂端固定連接有運轉電機組13,運轉電機組13的頂端電性連接有控制面板15,高效攪拌裝置2的內部中間部位固定連接有致密防腐桿16,致密防腐桿16的內部內側貫穿連接有攪動孔17,鹽酸裝罐7的內部一側嵌入連接有嵌入引流口22,嵌入引流口22的一端固定連接有負壓引流器21,負壓引流器21的一端固定連接有注入量控制容器18,注入量控制容器18的內部內側固定連接有注入量觀察刻度線19,注入量控制容器18的一側嵌入連接有限流銷20。推薦的,翻折觀察板4的內部頂部活動連接有觀察窗翻折滾輪401,觀察窗翻折滾輪401的底端活動連接有內嵌觀察窗402,該裝置在進行制備時,具有一定的危險性,工作人員無法直接對其內部的運行狀況進行很好的實時查看,通過設置內嵌觀察窗402。蘇州有哪些公司可以做蝕刻液。江蘇市面上哪家蝕刻液推薦貨源
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并利用水滴的表面張力現象防止水滴由該復數個宣泄孔121落下造成該基板20的蝕刻不均等異常現象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板而導致該基板20刮傷或破片風險等主要優勢。該蝕刻設備1可進一步設置有一噴灑裝置50,該噴灑裝置50設置于該擋液板結構10的一端部,且該基板20設置于該擋液板結構10的下方約8毫米至15毫米之間,其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上,以對該基板20進行一濕式蝕刻制程;由上述的說明,擋液板結構10的設置即是為了避免噴灑裝置50的藥液51繼續對已經完成蝕刻步驟的基板20再進行蝕刻制程,故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結構10上而留下該藥液51的水滴,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,以避免該基板20的蝕刻不均的現象產生。該輸送裝置30設置于該基板20的下方,該輸送裝置30包括有至少一滾輪31,其中該滾輪31與該基板20接觸以運行該基板20;在本實用新型其一較佳實施例中,該輸送裝置30用以承載并運送至少一該基板20于該濕式蝕刻機內運行,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運作,故該輸送裝置30具有一驅動機構(圖式未標示)以驅動該滾輪31轉動,例如:順時針旋轉。廣州鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液產品介紹