所述液位計連接有液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個實施例中,所述分離器的側壁上設有多個視鏡。在其中一個實施例中,所述液位計安裝于所述分離器的外表面。在其中一個實施例中,所述液位開關為控制閥,設置于所述濾液出口處。在其中一個實施例中,所述加熱器為盤管式加熱器。在其中一個實施例中,所述分離器底部為錐體形狀。上述,利用加熱器對含銅蝕刻液進行加熱,使其達到閃蒸要求的溫度,將加熱好的含銅蝕刻液輸送至分離器,經過減壓閥及真空泵減壓,含銅蝕刻液在分離器內發生閃蒸,產生大量蒸汽,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,通過除霧組件和除沫組件可以防止大液滴從蒸汽出口飛出,減小產品損失。附圖說明圖1是本實施例的結構示意圖;圖2是本實施例的外觀示意圖。圖中:1、液體入口;2、濾液出口;3、除霧組件;4、除沫組件;5、蒸汽出口;6、液相氣相溫度傳感器;7、液位計;8、壓力傳感器;9、液位開關;10、視鏡;11、加熱器;12、減壓閥;13、真空泵。具體實施方式在一個實施例中,如圖1所示,一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器11,所述分離器設有液體入口1、蒸汽出口5及濾液出口2,所述液體入口1用于將加熱器11產生的液體輸入至分離器中。鋁蝕刻液的配方是什么?廣東市面上哪家蝕刻液銷售廠
silane)系偶聯劑和水,上述硅烷系偶聯劑使上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。此外,提供一種選擇硅烷系偶聯劑的方法,其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法,其特征在于,選擇上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。發明效果本發明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優異的硅烷系偶聯劑的效果。此外,本發明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發生的工序不良的圖。圖4是示出能夠將3dnand閃存制造工序中發生的副反應氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯劑的aeff值與蝕刻程度。成都市面上哪家蝕刻液價格蝕刻液的配方是什么?
從蝕刻速度及安全性的觀點來看,推薦為40℃至70℃,更推薦為45℃至55℃。處理時間視對象物的表面狀態及形狀等而變化,通常為30秒至120秒左右。實施例然后,對本發明的實施例與比較例一起進行說明。此外,本發明并非限定于下述實施例而解釋。制備表1及表2所示的組成的各蝕刻液,在下述條件下進行蝕刻試驗及蝕刻液的穩定性試驗。此外,表1及表2所示的組成的各蝕刻液中,剩余部分為離子交換水。另外,表1及表2所示的鹽酸的濃度為以氯化氫計的濃度。(蝕刻試驗)通過濺鍍法在樹脂上形成50nm的鈦膜,然后成膜200nm的銅膜,進而通過電鍍銅在該銅膜上形成圖案,將所得的基板用作試樣。使用銅的蝕刻液,將試樣的濺鍍銅膜溶解而使鈦膜露出。然后,將試樣浸漬在實施例1至實施例12及比較例1至比較例3的蝕刻液中進行蝕刻實驗。將實驗結果示于表1。[表1]像表1所示那樣,本發明的蝕刻液可在不蝕刻銅的情況下選擇性地蝕刻鈦。(蝕刻液的穩定性試驗)將實施例1、實施例7、實施例12及比較例4的蝕刻液在室溫下放置2天后,進行所述蝕刻試驗,比較放置前后的蝕刻速度。將比較結果示于表2。[表2]像表2所示那樣,本發明的蝕刻液的保存穩定性優異,即便在長期保存的情況下也可穩定地選擇性地蝕刻鈦。
本實用新型涉及資源回收再利用領域,特別是涉及含銅蝕刻液氣液分離裝置。背景技術:線路板生產工業中,會對已經使用于蝕刻線路板的含銅蝕刻廢液進行回收利用,在回收過程中,廢液在加熱器中通過蒸汽進行換熱,換熱完的廢液在高溫狀態下進入分離器,會在分離器中發生閃蒸,閃蒸產生的二次蒸汽中,攜帶有大小不等的液滴,現有技術因缺乏有效的分離氣液的手段,含有銅的液體隨著蒸汽被排走,導致了產品發生損失。技術實現要素:基于此,有必要針對現有技術氣液分離率低的問題,提供一種含銅蝕刻液氣液分離裝置。一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器,所述分離器設有液體入口、蒸汽出口及濾液出口,所述液體入口用于將加熱器產生的液體輸入至分離器中,所述液體入口處設有減壓閥,所述蒸汽出口處設有真空泵、除霧組件及除沫組件,所述除霧組件用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,所述除沫組件用于將經除霧組件除霧的氣體進行除沫。在其中一個實施例中,所述除霧組件為設有多個平行且曲折的通道的折流板。在其中一個實施例中,所述除沫組件為絲網。在其中一個實施例中,所述分離器設有液位計、液位開關、液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個實施例中。好的蝕刻液的標準是什么。
蝕刻液也可含有α-羥基羧酸和/或其鹽。α-羥基羧酸及其鹽具有作為鈦的絡合劑的效果,可抑制蝕刻液中產生鈦的沉淀。作為所述α-羥基羧酸,例如可舉出酒石酸、蘋果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸等。α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度并無特別限制,從絡合效果及溶解性的觀點來看,推薦為%至5重量%,更推薦為%至2重量%。另外,蝕刻液也可含有亞硫酸及/或其鹽。亞硫酸及其鹽具有作為還原劑的效果,可提高鈦的蝕刻速度。亞硫酸和/或其鹽的濃度并無特別限制,從還原性及臭氣的觀點來看,推薦為%至%,更推薦為%至%。蝕刻液中除了上述的成分以外,也能以不妨礙本發明效果的程度添加其他成分。作為其他成分,例如可舉出表面活性劑、成分穩定劑及消泡劑等。蝕刻液可通過使所述各成分溶解于水中而容易地制備。作為所述水,推薦為將離子性物質及雜質除去的水,例如推薦為離子交換水、純水、超純水等。蝕刻液可在使用時將各成分以成為預定濃度的方式調配,也可預先制備濃縮液并在即將使用之前稀釋而使用。使用本發明的蝕刻液的鈦的蝕刻方法并無特別限制,例如可舉出:對含有銅及鈦的對象物涂布或噴霧蝕刻液的方法;將含有銅及鈦的對象物浸漬在蝕刻液中的方法等。處理溫度并無特別限制。哪家的蝕刻液比較好用點?佛山京東方用的蝕刻液蝕刻液配方技術
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所述裝置主體的內部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥,所述連接構件的內側固定連接有過濾部件,所述裝置主體的內部底端另一側固定連接有收集倉,所述收集倉的另一側底部固定連接有密封閥門,所述過濾部件的頂端兩側活動連接有滑動蓋,所述過濾部件的內部中間兩側固定連接有收縮彈簧管,所述連接構件的內側兩端嵌入連接有螺紋管,所述連接構件的內部中間兩側活動連接有活動軸,所述連接構件的內側中間兩側嵌入連接有密封軟膠層。推薦的,所述硝酸鉀儲罐的頂部嵌入連接有密封環。推薦的,所述連接構件的兩側嵌入連接有海綿層。推薦的,所述支撐腿的底端嵌入連接有防滑紋。推薦的,所述過濾部件的內部兩側嵌入連接有過濾板。推薦的,所述過濾部件設置有一個,所述過濾部件設置在連接構件的內側,所述過濾部件與連接構件固定連接。推薦的,所述連接構件設置有十四個,所述連接構件設置在攪拌倉的底部,所述連接構件與攪拌倉固定連接。與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:1.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,過濾部件,過濾部件設置在連接構件的內側,過濾部件與連接構件固定連接,過濾部件能將制備出的蝕刻液進行過濾。廣東市面上哪家蝕刻液銷售廠
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