光電行業(yè)的大力發(fā)展,致使剝離液被國內(nèi)外研究人員所關(guān)注及研究,雖然在**網(wǎng)及技術(shù)網(wǎng)上對剝離液的闡述較少,但當前國內(nèi)與國外均在剝離液廢液如何利用及處置方面有了一定的成果,。美國專利US7273560公布了包含單乙醇胺與二乙二醇單丁醚組合的光刻膠剝離液廢液中含有、77%的二乙二醇單丁醚、3%的光刻膠和。現(xiàn)有技術(shù)***采用的光刻膠剝離液廢液回收方法通常是通過薄膜蒸發(fā)器回收大部分的有機成分,回收得到的有機組分或再經(jīng)脫色脫水等處理后可再次作為光刻膠剝離液應(yīng)用。這種方法雖然流程簡便,但在使用薄膜蒸發(fā)器蒸發(fā)溶劑過程中,光刻膠濃度達到一定程度后其傳熱傳質(zhì)效率快速下降,使溶劑回收效率大為降低,處理能耗***升高。且除去溶劑后殘留的光刻膠等物質(zhì)需要定期將其***干凈,進而影響工藝操作效率。另外,美國專利US公布了在蝕刻產(chǎn)線上設(shè)置過濾回收裝置,通過粗孔和細孔過濾器的兩步組合過濾法除去光刻膠,將光刻膠剝離液在產(chǎn)線上循環(huán)使用。 剝離液的配方是什么?廣州哪家剝離液推薦廠家
光刻作為IC制造的關(guān)鍵一環(huán)常常被人重視,但是光刻膠***都是作為**層被去掉的,如何快速、干凈的去除工藝后的光刻膠是一個經(jīng)常被疏忽的問題,但是很重要,直接影響了產(chǎn)品質(zhì)量。如何快速有效的去除光刻膠。筆者**近就碰到一些去膠的問題,比如正膠和負膠去除需要的工藝有差別。去膠工藝還和光刻膠受過什么樣的工藝處理有關(guān),比如ICPRIE之后的光刻膠、還有濕法腐蝕后的光刻膠。市面上針對光刻膠去除的特殊配方的去膠液有很多種,但需要根據(jù)自身產(chǎn)品特性加以選擇。在做砷化鎵去除光阻的案例,砷化鎵是一種化合物半導體材料,分子式GaAs。立方晶系閃鋅礦結(jié)構(gòu),即由As和Ga兩種原子各自組成面心立方晶格套構(gòu)而成的復(fù)式晶格,其晶格常數(shù)是5.6419A。室溫下禁帶寬度1.428eV,是直接帶隙半導體,熔點1238℃,質(zhì)量密度5.307g/cm3,電容率13.18。在其中摻入Ⅵ族元素Te、Se、S等或Ⅳ族元素Si,可獲得N型半導體,摻入Ⅱ族元素Be、Zn等可制得P型半導體,摻入Cr或提高純度可制成電阻率高達107~108Ω·cm的半絕緣材料。浙江銅蝕刻液剝離液供應(yīng)商如何選擇一家好的做剝離液的公司。
1.顯影液:顯影液是一種溶液,用于在PCB板上顯示銅線軌道的比例和位置,使其成為可以用于焊接元件的良好的PCB板。2.剝離液:剝離液是一種特殊的溶劑,用于將PCB板上的銅線軌道剝離開,以便重新焊接元件。3.蝕刻液:蝕刻液是一種酸性溶液,用于將PCB板上的銅線軌道腐蝕掉,以便重新焊接元件。4.清洗液:清洗液是一種混合物,用于將PCB板上的塵埃、污垢和其他殘留物消除干凈,以便進行焊接和裝配。
1.顯影液:是指用于顯影制版的液體,一般由溶劑、硫酸銅、有機酸和抗氧化劑等組成。2.剝離液:是指用于把制版上的顯影膜剝離出來的液體,一般由硝酸鋁、硫酸鈉等組成。3.蝕刻液:是指用于蝕刻制版的液體,一般由硝酸銅、硝酸鈉、硝酸鋅等組成。4.清洗液:是指用于清洗制版的液體,一般由水、硝酸、硫酸、乙醇等組成。
本申請涉及半導體工藝技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種剝離液機臺及其工作方法。背景技術(shù):剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減,lift-off先形成光阻并圖案化,再在光阻上成膜,移除光阻的同時,沉積在光阻上的膜層也被剝離,從而完成膜層的圖形化,通過該制程可以實現(xiàn)兩次光刻合并為一次以達到光罩縮減的目的。現(xiàn)有技術(shù)中,由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬,ito(氧化銦錫)等用于制備tft的膜層),在剝離光阻的同時薄膜碎屑被帶入剝離液(stripper)中,大量的薄膜碎屑將會導致剝離液機臺中的過濾器(filter)堵塞,從而導致機臺無法使用,并且需要停止所有剝離液機臺的工作,待將filter清理后再次啟動,降低了生產(chǎn)效率。技術(shù)實現(xiàn)要素:本申請實施例提供一種剝離液機臺及其工作方法,可以提高生產(chǎn)效率。本申請實施例提供一種剝離液機臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應(yīng)連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設(shè)置通過***管道與當前級腔室對應(yīng)的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在所述***管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)。在一些實施例中。剝離液的價格哪家比較優(yōu)惠?
騰田化學技術(shù)(上海)技術(shù)有限公司(簡稱:騰田化學),騰田化學坐落于上海五角場萬達廣場,依托復(fù)旦大學·東華大學·華東理工大學·中科院有機所·上海石油商品研究所就相關(guān)材料領(lǐng)域建立研發(fā)中心,憑借強大的科研實力,多年豐富的研發(fā)經(jīng)驗,共同建立化工材料分析中心與新材料研發(fā)中心;騰田化學致力于化工行業(yè)材料檢測、材料分析、配方還原、新領(lǐng)域新材料的研發(fā);加快新項目整體研發(fā)進度,縮短研發(fā)周期,推動化工產(chǎn)業(yè)自主研發(fā)的進程.為企業(yè)提供一站式服務(wù)。騰田化學作為國內(nèi)的配方及研發(fā)技術(shù)有限公司,騰田化學技術(shù)團隊具有豐富研發(fā)經(jīng)驗,與多所高校及研究所建立研究性合作平臺,擁有前列的技術(shù)研發(fā)平臺、雄厚的科研技術(shù)力量以及精密的高科技儀器設(shè)備;有標準的圖譜庫;材料庫;完善的數(shù)據(jù)庫;能夠有效的解決某些前列領(lǐng)域特殊產(chǎn)品**能性助劑的定性定量分析及研發(fā)技術(shù)服務(wù),為企業(yè)解決在研發(fā)中遇到的難題,突破多領(lǐng)域技術(shù)瓶頸;并且與化工行業(yè)上百家有規(guī)模企業(yè)建立長期技術(shù)合作;騰田化學中心擁有強大的技術(shù)研發(fā)團隊:由數(shù)位工程師在新材料前列領(lǐng)域已幫助多家企業(yè)解決實際生產(chǎn)問題,協(xié)助企業(yè)成功自主研發(fā)**產(chǎn)品項目很多項。蘇州性價比較好的剝離液的公司聯(lián)系電話。廣州哪家剝離液推薦廠家
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本發(fā)明涉及化學制劑技術(shù)領(lǐng)域:,特別涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。背景技術(shù)::隨著半導體制造技術(shù)以及立體封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,電子器件和電子產(chǎn)品對多功能化和微型化的要求越來越高。在這種小型化趨勢的推動下,要求芯片的封裝尺寸不斷減小。3d疊層粉妝技術(shù)的封裝體積小,立體空間大,引線距離短,信號傳輸快,所以能夠更好地實現(xiàn)封裝的微型化。晶圓疊層是3d疊層封裝的一種形式。疊層晶圓在制造的過程中會對**外層的晶圓表面進行顯影蝕刻,當中會用到光刻膠剝離液。以往的光刻膠剝離液對金屬的腐蝕較大,可能進入疊層內(nèi)部造成線路減薄,藥液殘留,影響產(chǎn)品的質(zhì)量。因此有必要開發(fā)一種不會對疊層晶圓產(chǎn)生過腐蝕的光刻膠剝離液。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,既具有較高的光刻膠剝離效率,又不會對晶圓內(nèi)層有很大的腐蝕。本發(fā)明通過如下技術(shù)方案實現(xiàn)上述目的:一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水。具體的。廣州哪家剝離液推薦廠家
蘇州博洋化學股份有限公司是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),公司位于高新區(qū)華橋路155號,成立于1999-10-25。公司秉承著技術(shù)研發(fā)、客戶優(yōu)先的原則,為國內(nèi)高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液的產(chǎn)品發(fā)展添磚加瓦。在孜孜不倦的奮斗下,公司產(chǎn)品業(yè)務(wù)越來越廣。目前主要經(jīng)營有高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等產(chǎn)品,并多次以精細化學品行業(yè)標準、客戶需求定制多款多元化的產(chǎn)品。我們以客戶的需求為基礎(chǔ),在產(chǎn)品設(shè)計和研發(fā)上面苦下功夫,一份份的不懈努力和付出,打造了博洋化學產(chǎn)品。我們從用戶角度,對每一款產(chǎn)品進行多方面分析,對每一款產(chǎn)品都精心設(shè)計、精心制作和嚴格檢驗。蘇州博洋化學股份有限公司嚴格規(guī)范高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液產(chǎn)品管理流程,確保公司產(chǎn)品質(zhì)量的可控可靠。公司擁有銷售/售后服務(wù)團隊,分工明細,服務(wù)貼心,為廣大用戶提供滿意的服務(wù)。