本發明涉及剝離液技術領域:,更具體的說是涉及一種光刻膠剝離液再生方法。背景技術::電子行業飛速發展,光刻膠應用也越來越***。在半導體元器件制造過程中,經過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材,才能再進行下道工序。因此,光刻膠的剝離質量也有直接影響著產品的質量。而隨著電子行業的發展以及高世代面板的面世,光刻膠剝離液的使用越來越多。剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質,而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,對環境、資源等都造成了比較大的影響。有鑒于此,申請人研發出以下的對使用后的光刻膠剝離液回收及再生方法。技術實現要素:本發明的目的是提供一種光刻膠剝離液再生方法。為了實現上述目的,本發明采用如下技術方案:本申請公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質量組分:光刻膠剝離液再生方法,包括以下步驟:s1:回收剝離液新液使用后的剝離液廢液,將剝離液廢液經過蒸餾、加壓工序,得出剝離液廢液的純化液體;純化液體中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物;s2:制備添加劑。剝離液可以用在哪些制程段上;南通京東方用的蝕刻液剝離液配方技術
形成帶有沉淀物的固液混合物,打開一級過濾罐進料管路上的電磁閥18,固液混合物進入一級過濾罐16的過濾筒中,先由一級過濾罐16的過濾筒過濾得到一級線性酚醛樹脂,濾液由提升泵6送往攪拌釜的循環料口7,往復3次數后,一級線性酚醛樹脂回收完成,關閉一級過濾罐進料管路上的電磁閥18,利用提升泵6將一級過濾罐16中濾液抽取到攪拌釜10內備用;2、向攪拌釜10中輸入酸性溶液,與前述濾液充分攪拌混合再次析出沉淀物,即二級線性酚醛樹脂,利用ph計檢測溶液ph值,當達到5-7范圍內即可,打開二級過濾罐13進料管路上的電磁閥17,帶有沉淀物的混合液進入二級過濾罐13中,由其中的過濾筒過濾得到二級線性酚醛樹脂,廢液二級過濾罐底部的廢液出口20流出,送往剝離成分處理系統。上述過濾得到的一級線性酚醛樹脂可用于光刻膠產品的原料,而二級線性酚醛樹脂可用于其他場合。南京市面上哪家剝離液廠家現貨剝離液有水性和溶劑型兩種不同的區分。
本發明**技術公開了一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置,包括主支撐架、橫向支架、伺服變頻電機、電機減速箱、印刷品放置箱、表面印刷結構、膠面剝離結構,所述主支撐架上方設置有所述橫向支架,所述橫向支架上方設置有所述伺服變頻電機,所述卷邊輥一側安裝有膠面收卷輥,所述膠面剝離結構一側安裝有電加熱箱,所述電加熱箱下方安裝有熱風噴頭,所述熱風噴頭下方安裝有干燥度感應器,所述干燥度感應器下方安裝有電氣控制箱,所述電氣控制箱上方安裝有液晶操作面板。有益效果在于:采用黏合方式對印刷品膠面印刷進行剝離,同時能夠對印刷品膠面進行回收,節約了大量材料,降低了生產成本。AprintedpeelingcompounddeviceforprintingsurfaceprintingTheinventiondisclosesaprintedpeelingstrippingcompounddevice,whichincludesamainsupportframe,alateralbracket,aservomotor,amotordecelerationbox,aprintingbox,【技術實現步驟摘要】一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置本**技術涉及印刷品加工設備領域,本**技術涉及一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置。技術介紹膠面印又稱膠上印。郵票圖案誤印在涂有背膠的一面。在郵票印刷過程中,不慎將郵票**涂膠紙放反而造成。郵票膠面印后。
光刻膠殘留大,殘留分布不均勻,并且產生邊緣聚集殘留。為了能夠進一步地表示配方一和配方二之間的光刻膠殘留量對比,圖2中將多張單張檢測圖進行疊加,可以更加清楚地看出兩者之間的區別,能夠明顯地看出使用配方一的剝離液,高世代面板邊緣光刻膠殘留量大。下面列舉更多剝離液組分實施例。表三:不同組分的剝離液表四:測試剝離性能時間30s50s70s90s1okokokok2okokokok3okokokok4okokokok5okokokok6okokokok7okokokok8okokokok9okokokok表三為9組不同組分的所制成的剝離液,9組不同組分的剝離液都進行剝離性能測試,在50℃下分別放入切好的玻璃,進行剝離性能測試,測試結果如表四所示,具有良好的剝離效果。通過上述,本實施方式中的剝離液采用酰胺、醇醚、環胺與鏈胺、緩蝕劑、潤濕劑制得,有效地提高了光刻膠的剝離效果,減少了光刻膠的殘留。對所公開的實施例的上述說明,使本領域專業技術人員能夠實現或使用本發明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發明的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現。因此,本發明將不會被限制于本文所示的這些實施例。什么制程中需要使用剝離液。
所述硫脲類緩蝕劑包括硫脲、苯基硫脲或月桂酰基硫脲中的一種。具體的,所述聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑為聚氧乙烯聚氧丙烯單丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一種。采用上述技術方案,本發明技術方案的有益效果是:本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液具有較快的剝離速度,對金屬的腐蝕率低,而且使用壽命長。具體實施方式本發明涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水。聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑因為分子中的醚鍵不易被酸、堿破壞,所以穩定性較高,水溶性較好,耐電解質,易于生物降解,泡沫小。硫脲類緩蝕劑呈現弱堿性,所以在酸性介質中能夠起到緩蝕的效果,另外與聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑和n-甲基吡咯烷酮配合可以起到提高處理量的作用。下面結合具體實施例對本發明作進一步詳細說明。剝離液應用于什么樣的場合?上海江化微的蝕刻液剝離液批量定制
剝離液的技術指標哪家比較好?南通京東方用的蝕刻液剝離液配方技術
所述功能切換口3外部并聯有高純水輸入管線1和沉淀劑輸入管線2。所述二級過濾罐13的底部設有廢液出口20。所述一級過濾罐16和二級過濾罐13內部均懸設有攔截固體成分的過濾筒。本實施例中,所述一級過濾罐16和二級過濾罐13的結構相同,以一級過濾罐16為例,由外殼1601、懸設于外殼1601內的過濾筒、扣裝于過濾筒頂部的壓蓋1602組成。所述壓蓋1602中心設有對應進料管路15的通孔。所述過濾筒由均勻布設多孔1606的支撐筒體1605、設于支撐筒體1605內表面的金屬濾網1604、設于金屬濾網1604表面的纖維濾布1603組成。所述支撐筒體1605的上沿伸出外殼1601頂部并利用水平翻邊支撐于外殼1601上表面,所述金屬濾網1604的上沿設有與支撐筒體1605的水平翻邊扣合的定位翻邊。所述支撐筒體1605的底面為向筒體內側凹陷的錐面1607,增加了過濾面積,提高了過濾效率。所述攪拌釜10設有ph計(圖中省略),用于檢測溶液ph值。攪拌釜10由釜體8、設于釜體8頂部的攪拌電機4、與攪拌電機4連接的攪拌桿11、設于攪拌桿11末端的攪拌槳12組成,所述攪拌槳12為u字形,釜體8外表面設有調溫水套9。工作過程:1、先向攪拌釜10內投入光刻膠廢剝離液,再向釜內輸入高純水,兩者在攪拌釜10內攪拌均勻。南通京東方用的蝕刻液剝離液配方技術