光電行業(yè)的大力發(fā)展,致使剝離液被國內(nèi)外研究人員所關注及研究,雖然在**網(wǎng)及技術網(wǎng)上對剝離液的闡述較少,但當前國內(nèi)與國外均在剝離液廢液如何利用及處置方面有了一定的成果,。美國專利US7273560公布了包含單乙醇胺與二乙二醇單丁醚組合的光刻膠剝離液廢液中含有、77%的二乙二醇單丁醚、3%的光刻膠和?,F(xiàn)有技術***采用的光刻膠剝離液廢液回收方法通常是通過薄膜蒸發(fā)器回收大部分的有機成分,回收得到的有機組分或再經(jīng)脫色脫水等處理后可再次作為光刻膠剝離液應用。這種方法雖然流程簡便,但在使用薄膜蒸發(fā)器蒸發(fā)溶劑過程中,光刻膠濃度達到一定程度后其傳熱傳質(zhì)效率快速下降,使溶劑回收效率大為降低,處理能耗***升高。且除去溶劑后殘留的光刻膠等物質(zhì)需要定期將其***干凈,進而影響工藝操作效率。另外,美國專利US公布了在蝕刻產(chǎn)線上設置過濾回收裝置,通過粗孔和細孔過濾器的兩步組合過濾法除去光刻膠,將光刻膠剝離液在產(chǎn)線上循環(huán)使用。 哪家的剝離液價格比較低?東莞格林達剝離液推薦廠家
所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8上方安裝有收卷調(diào)速器801,所述收卷調(diào)速器801一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動電機802,所述收卷驅(qū)動電機802一側(cè)安裝有輥固定架803,所述輥固定架803一側(cè)安裝有膠水盛放箱804,所述膠水盛放箱804下方安裝有點膠頭805,所述點膠頭805下方安裝有卷邊輥806,所述卷邊輥806一側(cè)安裝有膠面收卷輥807,所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8一側(cè)安裝有電加熱箱9,所述電加熱箱9下方安裝有熱風噴頭10,所述熱風噴頭10下方安裝有干燥度感應器11,所述干燥度感應器11下方安裝有電氣控制箱12,所述電氣控制箱12上方安裝有液晶操作面板13。本實施例中,所述主支撐架1與所述橫向支架2通過螺栓連接,所述伺服變頻電機3與所述電機減速箱4通過導線連接。本實施例中,所述印刷品傳送帶5與所述印刷品放置箱6通過皮帶連接,所述電加熱箱9與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8通過導線連接。本實施例中,所述油墨放置箱701與所述油墨加壓器702通過管道連接,所述油墨加壓器702與所述高壓噴頭703通過管道連接,所述印刷輥705共有兩個,對稱設置,所述防濺射擋板704與所述油墨放置箱701焊接。本實施例中,所述收卷調(diào)速器801與所述收卷驅(qū)動電機802通過導線連接,所述輥固定架803與所述膠面收卷輥807通過軸連接。東莞半導體剝離液商家天馬微電子用的哪家的剝離液?
光刻作為IC制造的關鍵一環(huán)常常被人重視,但是光刻膠***都是作為**層被去掉的,如何快速、干凈的去除工藝后的光刻膠是一個經(jīng)常被疏忽的問題,但是很重要,直接影響了產(chǎn)品質(zhì)量。如何快速有效的去除光刻膠。筆者**近就碰到一些去膠的問題,比如正膠和負膠去除需要的工藝有差別。去膠工藝還和光刻膠受過什么樣的工藝處理有關,比如ICPRIE之后的光刻膠、還有濕法腐蝕后的光刻膠。市面上針對光刻膠去除的特殊配方的去膠液有很多種,但需要根據(jù)自身產(chǎn)品特性加以選擇。在做砷化鎵去除光阻的案例,砷化鎵是一種化合物半導體材料,分子式GaAs。立方晶系閃鋅礦結(jié)構(gòu),即由As和Ga兩種原子各自組成面心立方晶格套構(gòu)而成的復式晶格,其晶格常數(shù)是5.6419A。室溫下禁帶寬度1.428eV,是直接帶隙半導體,熔點1238℃,質(zhì)量密度5.307g/cm3,電容率13.18。在其中摻入Ⅵ族元素Te、Se、S等或Ⅳ族元素Si,可獲得N型半導體,摻入Ⅱ族元素Be、Zn等可制得P型半導體,摻入Cr或提高純度可制成電阻率高達107~108Ω·cm的半絕緣材料。
具體實施方式現(xiàn)有技術中剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質(zhì),而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,或者回收后需要通過大量的時間分析其含量以及花大量時間進行再生處理,影響了剝離液廢液的利用率。本發(fā)明對于已知的剝離液的含量以及比例有預先的了解,通過預先制定添加劑的方法,將添加劑以及某些原材料加入后重新制備剝離液新液。本發(fā)明中對于回收的剝離液廢液的進一步處理加工,是采用現(xiàn)有技術中加壓、蒸餾等方式,可以是采用階段性變壓精餾塔進行加壓、蒸餾處理。表1:已知的剝離液新液的組分:表二:添加劑的組分組分比例:純化液體的組分表四:制備剝離液新液在對純化液體進行加工處理,重新制備剝離液新液的過程中,需要預先制備添加劑,該添加劑中不含有酰胺化合物,而通過表四中可以得出,制備過程中在純化液體中加入添加劑以及nmf或bdg重新得出與表1組分相同的剝離液新液,該剝離液新液能夠達到表1中剝離液新液相同的成分以及相同或大致相同的技術效果。對所公開的實施例的上述說明,使本領域?qū)I(yè)技術人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的。剝離液的大概費用大概是多少?
技術領域:本發(fā)明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,可用于微納制造,光學領域,電學,生物領域,mems領域,nems領域。技術背景:微納制造技術是衡量一個國家制造水平的重要標志,對提高人們的生活水平,促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展與經(jīng)濟增長,保障**安全等方法發(fā)揮著重要作用,微納制造技術是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎?;诎雽w制造工藝的光刻技術是**常用的手段之一。對于納米孔的加工,常用的手段是先利用曝光負性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結(jié)構(gòu),再通過金屬的沉積和溶膠實現(xiàn)圖形反轉(zhuǎn)從而得到所需要的納米孔。然而傳統(tǒng)的方法由于光刻過程中的散焦及臨近效應等會造成曝光后的微納結(jié)構(gòu)側(cè)壁呈現(xiàn)一定的角度(如正梯形截面),這會造成蒸發(fā)過程中的掛壁嚴重從而使lift-off困難。同時由于我們常用的高分辨的負膠如hsq,在去膠的過程中需要用到危險的氫氟酸,而氫氟酸常常會腐蝕石英,氧化硅等襯底從而影響器件性能,特別的,對于跨尺度高精度納米結(jié)構(gòu)的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰(zhàn)。技術實現(xiàn)要素::為了克服上述技術問題,本發(fā)明公開了一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法。剝離液的主要成分是什么?上海哪家剝離液銷售電話
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所述硫脲類緩蝕劑包括硫脲、苯基硫脲或月桂?;螂逯械囊环N。具體的,所述聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑為聚氧乙烯聚氧丙烯單丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一種。采用上述技術方案,本發(fā)明技術方案的有益效果是:本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液具有較快的剝離速度,對金屬的腐蝕率低,而且使用壽命長。具體實施方式本發(fā)明涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水。聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑因為分子中的醚鍵不易被酸、堿破壞,所以穩(wěn)定性較高,水溶性較好,耐電解質(zhì),易于生物降解,泡沫小。硫脲類緩蝕劑呈現(xiàn)弱堿性,所以在酸性介質(zhì)中能夠起到緩蝕的效果,另外與聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑和n-甲基吡咯烷酮配合可以起到提高處理量的作用。下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。東莞格林達剝離液推薦廠家
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