下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。圖1是實施例一中公開的儲存罐與拖車的安裝結構圖；圖2是實施例二中公開的儲存罐與拖車的安裝結構圖；圖3是實施例三中公開的儲存罐與拖車的安裝結構圖；圖4是實施例四中公開的儲存罐與拖車的安裝結構圖。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。實施例一鋁蝕刻液生產設備，包括混合罐、過濾器和數個小型的儲存罐，混合罐通過液管與過濾器連接，過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管，每個儲存罐的進液口和出液口中安裝有一只單向液動閥，過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中，將過濾后的鋁蝕刻液注入儲存罐內暫存。請參閱圖1，儲存罐10固定在一輛液壓升降式拖車20的頂部，在過濾器的下方設置地磅30，載有空儲存罐的拖車置于地磅上方，過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中，當地磅所測得的重量達到系統預設重量時，過濾器的出液管自動上行離開儲存罐。將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產車間移動至自動灌裝車間中，將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內的鋁蝕刻液分裝。拖車的底部具有滾輪21，即使滾輪帶有剎車。蝕刻液，準確蝕刻，效果好。揚州市面上哪家蝕刻液什么價格

    silane)系偶聯劑和水，上述硅烷系偶聯劑使上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。此外，提供一種選擇硅烷系偶聯劑的方法，其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法，其特征在于，選擇上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。發明效果本發明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優異的硅烷系偶聯劑的效果。此外，本發明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發生的工序不良的圖。圖4是示出能夠將3dnand閃存制造工序中發生的副反應氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯劑的aeff值與蝕刻程度。江蘇蝕刻液推薦貨源銅蝕刻液是用來蝕刻銅金屬的化學藥水；

    因此存在開發蝕刻液組合物時會過度耗費時間和費用的問題。美國公開**第2號公開了在3dnand閃存的制造工序中，對于硅氧化物膜和硅氮化物膜*選擇性蝕刻硅氮化物膜的蝕刻液組合物。然而，為了選擇構成成分的種類和濃度，不得不需要測試蝕刻液組合物的蝕刻性能，實際情況是，與上述同樣，仍然沒有解決在找尋蝕刻液組合物的適宜組成方面過度耗費時間和費用的問題。現有技術文獻**文獻**文獻1：美國公開**第2號技術實現要素：所要解決的課題本發明是為了改善上述以往技術問題的發明，其目的在于，提供用于選擇硅烷系偶聯劑的參數以及包含由此獲得的硅烷系偶聯劑的蝕刻液組合物，所述硅烷系偶聯劑作為添加劑即使不進行另外的實驗確認也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力。此外，本發明的目的在于，提供一種以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能夠*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征的蝕刻液組合物。此外，本發明的目的在于，提供利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。此外，本發明的目的在于，提供選擇上述蝕刻液組合物所包含的硅烷系偶聯劑的方法。解決課題的方法為了實現上述目的，本發明提供一種蝕刻液組合物，其特征在于，包含磷酸、硅烷。

    在上述硅烷系偶聯劑的含量處于上述含量范圍內的情況下，能夠調節添加劑本身凝膠化，且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導體工序的去離子水，推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量％的余量。推薦可以按照本發明的組合物總重量的2～45重量％來包含。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外，本發明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。上述蝕刻液組合物中說明的、對于添加劑選擇等的一切內容均可以同樣地應用于本發明的選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。具體而言，提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法、由此選擇的硅烷系偶聯劑以及包含該硅烷系偶聯劑的蝕刻方法。BOE蝕刻液多少錢一噸？

    上述硅烷系偶聯劑的選擇方法的特征在于，選擇上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)形態的分子量之后乘以。以下，通過實施例更加詳細地說明本發明。但是，以下的實施例用于更加具體地說明本發明，本發明的范圍并不受以下實施例的限定。實施例和比較例的蝕刻液組合物的制造參照以下表1(重量％)，制造實施例和比較例的蝕刻液組合物。[表1]參照以下表2和圖5，利用實施例和比較例的蝕刻液組合物，對于包含作為氧化物膜sio2和作為上述氧化物膜上的氮化物膜sin的膜的、總厚度的膜進行如下處理。在160℃用硅烷系偶聯劑％對上述膜處理10,000秒的情況下，可以確認到，aeff值與蝕刻程度(etchingamount，e/a)呈線性相互關系。具體而言，可以判斷，作為硅烷系偶聯劑，包含aeff值處于～14的蝕刻程度(etchingamount，e/a)優異，從而阻止氧化物膜損傷不良和因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良的效果優異。另一方面，可以判斷，作為硅烷系偶聯劑，包含aeff值不處于～11的蝕刻程度不佳，從而發生氧化物膜損傷不良。[表2]例如，參照以下表3，包含雙。蝕刻液，適用于多種材料，蝕刻效果好。綿陽銀蝕刻液蝕刻液銷售價格

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    內嵌觀察窗402通過觀察窗翻折滾輪401內嵌入裝置內部，工作人員可通過內嵌的透明窗對內部的制備狀況進行實時查看，從而很好的體現了該裝置的實時性。推薦的，鹽酸裝罐7的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗9，在進行制備時需要向鹽酸裝罐7內倒入一定比例的熱水進行均勻調和，由于熱水與鹽酸接觸會產生較為劇烈的反應，濺出容易傷害工作人員，通過設置熱水流入漏斗9，工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內，從而很好的減小了發生反應的劇烈程度，很好的起到了保護作用。推薦的，裝置底座5的內部兩側緊密焊接有加固支架10，由于制備裝置為一體化裝置，承載設備較多，質量較重，對底座會產生較大的壓力，通過設置加固支架10，加固支架10為連接在兩側底座支柱的三角結構，利用三角結構穩定原理對裝置底座5起到了很好的加固效果。推薦的，制備裝置主體1的兩端緊密貼合有防燙隔膜11，由于制備裝置在進行制備時會發***熱反應，使得裝置外殼穩定較高，工作人員直接接觸有燙傷風險，通過設置防燙隔膜11，防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料，能夠很好的防止工作人員被燙傷，很好的體現了該裝置的防燙性。推薦的，高效攪拌裝置2是由內部頂部中間部位的旋轉搖勻轉盤12。揚州市面上哪家蝕刻液什么價格