本發明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術::印刷布線板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,伴隨微細布線化而使用胺系的剝離液。然而,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規制度的問題,而避免其使用。近年來,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點,還報道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻1),由于剝離時的抗蝕劑沒有微細地粉碎,因此存在近年的微細的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點。現有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2002-323776號公報技術實現要素:發明要解決的問題因此,本發明的課題在于,提供容易除去微細的布線間的抗蝕劑的技術。用于解決問題的手段本發明人等為了解決上述課題而深入研究的結果發現,含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,即使是非常微細的布線間的抗蝕劑也能細小地粉碎,從而完成本發明。即,本發明涉及一種抗蝕劑的剝離液,其特征在于,含有鉀鹽和溶纖劑。另外,本發明涉及一種抗蝕劑的除去方法,其特征在于,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材。鋁剝離液的配方是什么?南京銅蝕刻液剝離液費用
技術領域:本發明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法,可用于微納制造,光學領域,電學,生物領域,mems領域,nems領域。技術背景:微納制造技術是衡量一個國家制造水平的重要標志,對提高人們的生活水平,促進產業發展與經濟增長,保障**安全等方法發揮著重要作用,微納制造技術是微傳感器、微執行器、微結構和功能微納系統制造的基本手段和重要基礎。基于半導體制造工藝的光刻技術是**常用的手段之一。對于納米孔的加工,常用的手段是先利用曝光負性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結構,再通過金屬的沉積和溶膠實現圖形反轉從而得到所需要的納米孔。然而傳統的方法由于光刻過程中的散焦及臨近效應等會造成曝光后的微納結構側壁呈現一定的角度(如正梯形截面),這會造成蒸發過程中的掛壁嚴重從而使lift-off困難。同時由于我們常用的高分辨的負膠如hsq,在去膠的過程中需要用到危險的氫氟酸,而氫氟酸常常會腐蝕石英,氧化硅等襯底從而影響器件性能,特別的,對于跨尺度高精度納米結構的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰。 蘇州銅鈦蝕刻液剝離液報價剝離液是一種用去去除光刻膠的化學品。
本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,請參閱圖5,圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖,該方法包括:步驟110、將多級腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;步驟120、將來自于當前級腔室經歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當前級腔室相應的存儲箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130、使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室;步驟140、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關;步驟150、取出被阻塞的所述過濾器。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則可以關閉被阻塞的子過濾器的閥門,因此,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則關閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關。在上述實施例中,對各個實施例的描述都各有側重,某個實施例中沒有詳述的部分,可以參見其他實施例的相關描述。
所述功能切換口3外部并聯有高純水輸入管線1和沉淀劑輸入管線2。所述二級過濾罐13的底部設有廢液出口20。所述一級過濾罐16和二級過濾罐13內部均懸設有攔截固體成分的過濾筒。本實施例中,所述一級過濾罐16和二級過濾罐13的結構相同,以一級過濾罐16為例,由外殼1601、懸設于外殼1601內的過濾筒、扣裝于過濾筒頂部的壓蓋1602組成。所述壓蓋1602中心設有對應進料管路15的通孔。所述過濾筒由均勻布設多孔1606的支撐筒體1605、設于支撐筒體1605內表面的金屬濾網1604、設于金屬濾網1604表面的纖維濾布1603組成。所述支撐筒體1605的上沿伸出外殼1601頂部并利用水平翻邊支撐于外殼1601上表面,所述金屬濾網1604的上沿設有與支撐筒體1605的水平翻邊扣合的定位翻邊。所述支撐筒體1605的底面為向筒體內側凹陷的錐面1607,增加了過濾面積,提高了過濾效率。所述攪拌釜10設有ph計(圖中省略),用于檢測溶液ph值。攪拌釜10由釜體8、設于釜體8頂部的攪拌電機4、與攪拌電機4連接的攪拌桿11、設于攪拌桿11末端的攪拌槳12組成,所述攪拌槳12為u字形,釜體8外表面設有調溫水套9。工作過程:1、先向攪拌釜10內投入光刻膠廢剝離液,再向釜內輸入高純水,兩者在攪拌釜10內攪拌均勻。溶劑型剝離液哪里可以購買?
根據對華新光電、日東集團的剝離液成分進行分析得知,剝離液主要成分為單乙醇胺(MEA),二甲亞砜(DMS0)和二乙二醇單丁醚(BDG),其中市場上大部分以二乙二醇單丁醚居多。剝離液廢液多呈深黑色且氣味大,由以下幾種組分構成:(1)、1~20%重量的醇胺或者酰胺,以伯胺和腫胺為主。(2)、10~60%重量的醇;(3)、10~50%重量的水;(4)、5~50%重量的極性有機溶劑,如;N-甲基吡咯烷酮(NMP),環丁基砜、二甲基亞砜(DMSO)、二甲基乙酰胺、N-乙基甲酰胺等。(5)、~3%重量的金屬抗蝕劑,如2-氨基環己醇、2-氨基環戊醇等。根據上述分析可以看出,剝離液中大部分是有機溶劑,可以加以回收資源化利用,或者將剝離廢液進行脫色凈化處理后再用于生產中,配成剝離液。當前國內主要產生剝離液的廠家主要分布在天津及深圳一帶,均是高新技術發達區域,隨著國內經濟及城市的發展,剝離液產廢地點將越來越,也將引起環保的重視及關注。 剝離液有怎么進行分類的。合肥中芯國際用剝離液銷售價格
剝離液可適用不同制程光刻膠的剝離;南京銅蝕刻液剝離液費用
根據新思界產業研究中心發布的《2020-2024年中國剝離液行業市場供需現狀及發展趨勢預測報告》顯示,剝離液屬于濕電子化學品的重要品類,近幾年受新能源、汽車電子等產業的快速發展,我國濕電子化學品市場規模持續擴增,2019年我國濕電子化學品市場規模達到100億元左右,需求量約為138萬噸。隨著剝離液在半導體產業中的應用增長,剝離液產量以及市場規模隨之擴大,2019年我國半導體用剝離液需求量約為,只占據濕電子化學品總需求量的。從競爭方面來看,當前全球剝離液的生產由濕電子化學品企業主導,主要集中在歐美、日韓以及中國,代表性企業有德國巴斯夫、德國漢高、美國霍尼韋爾、美國ATMI公司、美國空氣化工產品公司、三菱化學、京都化工、住友化學、宇部興產、關東化學,以及中國的江陰江化微、蘇州瑞紅、中國臺灣聯仕電子等企業。 南京銅蝕刻液剝離液費用