米開羅那（上海）工業智能科技股份有限公司2025-06-17

手套箱蒸鍍一體機的工作原理結合了真空鍍膜系統和手套箱系統。首先，在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，通過蒸發源將材料加熱蒸發，沉積在基底表面形成薄膜。隨后，在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。手套箱系統通過高效的凈化系統和循環系統，維持箱體內的低水氧含量，確保薄膜生長和器件制備過程在高度純凈的環境中進行。這種組合實現了蒸鍍、封裝、測試等工藝的全封閉制作，消除了大氣環境中不穩定因素的影響，保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。

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