無錫凡華半導體科技有限公司2025-08-14
它是實現自動化功能的關鍵部分,通過機械臂將晶圓在不同工藝部件間傳送,還通過傳送帶連接光刻機和其他設備,將晶圓從一個工作站傳送到另一個工作站,確保工藝的準確性和連續性。?
本回答由 無錫凡華半導體科技有限公司 提供