東莞市晟鼎精密儀器有限公司2024-05-10

碳化硅載盤是一種常用的材質，它采用碳化硅材料制成，適用于半導體制造過程中晶圓的承載容器。碳化硅載盤具有耐高溫、耐腐蝕、熱穩定性好等特點，能夠在高溫環境下保持較好的性能穩定性。此外，碳化硅載盤的控溫精細度較高，能夠確保晶圓在退火過程中受熱均勻，減少炸盤現象的發生。然而，碳化硅載盤的使用壽命會受到保養和使用環境的影響，如果不注意保養或者長時間處于化學物質腐蝕的環境中，其壽命會減短。

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