CRS系列陶瓷電容薄膜真空計是上海辰儀測量技術(shù)有限公司開發(fā)的壓力真空計,該系列產(chǎn)品具有高精度、溫度補(bǔ)償?shù)奶攸c(diǎn),可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能,一鍵歸零功能和繼電器設(shè)定點(diǎn)調(diào)整提高了產(chǎn)品性能,且易于操作;陶瓷的耐腐蝕性提供了較好的零點(diǎn)穩(wěn)定性,包括突發(fā)的氣壓變化環(huán)境中。堅固的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性(EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。
體積小巧,易于集成,可以安裝在相對狹小的空間,便于在復(fù)雜的機(jī)器上安裝使用。此外,該裝置的數(shù)字信號處理支持快速、準(zhǔn)確的壓力測量,這對保持工藝質(zhì)量至關(guān)重要。 皮拉尼真空計是一種用于測量真空壓力的儀器。河北高精度真空計
按測量原理分類
電離真空計測量原理:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。示例:熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射性電離真空計等。放電管指示器測量原理:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度,一般能作為定性測量。粘滯真空計測量原理:利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。示例:振膜式真空計、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計等。場致顯微儀測量原理:以吸附和解吸時間與壓力關(guān)系計算壓力。分壓力真空計測量原理:利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測量。示例:四極質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計、射頻質(zhì)譜計等。 mems真空計設(shè)備廠家如果懷疑電容真空計出現(xiàn)故障,應(yīng)及時進(jìn)行檢修或更換。
陶瓷薄膜真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,陶瓷薄膜真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,陶瓷薄膜真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。科學(xué)研究:在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究中,陶瓷薄膜真空計用于監(jiān)測真空度,確保實驗環(huán)境的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。航空航天:在航空航天領(lǐng)域,陶瓷薄膜真空計用于監(jiān)測太空艙內(nèi)的真空度,確保航天員的生命安全和設(shè)備的正常運(yùn)行。醫(yī)療設(shè)備:在醫(yī)療設(shè)備的制造和維護(hù)過程中,陶瓷薄膜真空計用于監(jiān)測放射設(shè)備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。
真空計可以按照測量原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及使用范圍等進(jìn)行分類。其中,按照測量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計具有不同的測量范圍和精度。例如:波爾登規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱陰極電離規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī)(如Bayard-Alpert規(guī))可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。冷陰極電離規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。真空計種類那么多,應(yīng)該如何選擇?
金屬薄膜真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,金屬薄膜真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,金屬薄膜真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以確保冶金產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。化工生產(chǎn):在化工生產(chǎn)中,金屬薄膜真空計廣泛應(yīng)用于反應(yīng)釜的真空控制,以確保化學(xué)反應(yīng)的穩(wěn)定性和有效性。同時,它還可以用于監(jiān)測化工生產(chǎn)中的環(huán)境和設(shè)備的真空質(zhì)量。光學(xué)領(lǐng)域:在光學(xué)薄膜的加工和表征過程中,金屬薄膜真空計用于監(jiān)控真空氣氛中的濺射顆粒,確保薄膜的質(zhì)量。醫(yī)療領(lǐng)域:在醫(yī)學(xué)設(shè)備的制造和維護(hù)過程中,金屬薄膜真空計用于監(jiān)測放射設(shè)備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。電容真空計通過測量電容變化來推算真空度,而熱傳導(dǎo)式真空計則利用氣體分子的熱傳導(dǎo)性質(zhì)來測量。杭州高純度真空計設(shè)備公司
真空計的讀數(shù)可能會受到外部環(huán)境因素的影響。河北高精度真空計
在實際應(yīng)用中,不同類型的真空計通常結(jié)合使用,以覆蓋不同的壓力范圍。同時,為了確保真空計的精度和可靠性,需要定期對其進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)。此外,在選擇真空計時,還需要考慮其測量范圍、精度、響應(yīng)時間等性能指標(biāo),以及工作環(huán)境中的氣體種類、溫度等因素對真空計性能的影響。綜上所述,真空計在科研、工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療、航空航天等多個領(lǐng)域都發(fā)揮著重要作用。隨著科技的不斷發(fā)展,真空計的性能將不斷提升,應(yīng)用范圍也將進(jìn)一步擴(kuò)大。河北高精度真空計
渦輪分子泵的工作原理是在電機(jī)的帶動下,動葉輪高速旋轉(zhuǎn)(動葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動的速度,一般為150~400米/秒)。在分子流區(qū)域內(nèi),氣體分子與高速轉(zhuǎn)動的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面運(yùn)動方向上產(chǎn)生定向流動而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。啟動快:渦輪分子泵能夠在短時間內(nèi)迅速啟動,并達(dá)到穩(wěn)定的抽氣狀態(tài)。抗射線照射:渦輪分子泵能夠抵抗各種射線的照射,適用于高能加速器等輻射環(huán)境下的真空抽取。耐大氣沖擊:渦輪分子泵具有較強(qiáng)的耐大氣沖擊能力,能夠在氣壓突變的環(huán)境中保持穩(wěn)定的抽氣性能。無氣體存儲和解吸效應(yīng):渦輪分子泵在工作過程中不會存儲氣體,也不會產(chǎn)生解吸效應(yīng),因此...