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    圖1為本發明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖；圖2為本發明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖；圖4為本發明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖；圖5為本發明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發明的思想，為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。本發明實施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤10、噴頭11和磁轉子12，當然，本發明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等，托盤10、噴頭11和磁轉子12等在反應室13內進行拋光和減薄反應。其中，托盤10，可選為石英托盤，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對待加工表面進行拋光。江蘇清洗效果好的減薄用清洗劑替代減薄清洗劑，讓您的加工過程更輕松，提高生產效率。

    即兩所述側板422之間設置有一排所述固定板423，從而形成對應設置有所述側支撐件44的所述豎直平板421，在各所述放置部內放置有一排玻璃，可實現所述放置部結構的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上設置若干所述放置部以使各所述放置部對應不同尺寸的玻璃。圖4為所述調節槽的另一種實施方式，所述調節槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425，所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣；兩所述豎直平板421均設置有所述側支撐件44，同一所述水平槽424可設置兩個所述固定卡塊427，即兩所述側板422之間設置有兩排所述固定板423，兩所述固定板423分別對應兩所述豎直平板421，使在同一所述放置部內分割處兩個放置空間，從而在各所述放置部內可放置兩排玻璃，便于節省所述玻璃加工治具4上的有限空間，可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設置于同一所述放置部內。較佳的，兩相鄰所述水平槽424之間還設置有至少兩個定位槽428，所述固定板423兩端設置有定位孔429，當所述固定卡塊427設置于所述固定槽426內時，所述定位槽428和所述定位孔429位置對應；通過將螺釘穿過所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中，保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內。

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