可有效穩定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設置有若干豎槽,所述豎槽單側豎直有若干定槽,對應所述定槽設置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應所述豎槽的側邊設置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠離所述豎槽的側邊設置有所述側支撐件44,通過將所述固定塊分別設置于所述定槽內,從而實現所述側支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側板422上的所述側支撐件44的設置,從而實現對所述玻璃加工治具4上玻璃的側邊位置固定,同時,通過所述側板422上所述調節槽的設置,可實現所述側板422上所述側支撐件44的位置調節,從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的,對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結構,可通過調節所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結構正視圖;圖8為所述底支撐件的結構側視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。減薄用清洗劑的使用時要注意什么?惠州什么是減薄用清洗劑什么價格
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所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時實時測量玻璃的厚度,并且將關于測得厚度的信息發送到所述控制器。所述控制器實時確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達到目標厚度。如果確定玻璃厚度達到目標厚度,則所述控制器停止對玻璃進行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動至所述沖洗區2內。實施例三所述玻璃加工治具4經所述控制器的控制實現在所述腔室31內的往復運動,進而通過所述玻璃加工治具4的自身結構實現所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動,從而實現玻璃與噴淋液的充分接觸,提高玻璃在所述蝕刻區3內的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結構正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結構正視圖;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結構俯視圖;具體的,所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42,所述支撐架42固定設置在所述底座41上;所述底座41上設置有底支撐件43,所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸,在玻璃底部提供支撐效果;所述支撐架42上設置有側支撐件44,所述側支撐件44限制玻璃側部邊緣位置。
所述控制器進行第二次減薄厚度確認操作;具體的,通過設置于所述第三沖洗區2的第二輔助厚度測量儀進行厚度檢測,從而實現所述減薄厚度確認操作,當所述減薄厚度未達到目標厚度時,所述玻璃加工治具4可再次進入所述蝕刻區3內進行減薄處理。所述主厚度測量儀32設置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區3中并且實時測量玻璃厚度,使得玻璃可更準確地具有目標厚度;所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區2中,并且再次測量經歷過減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設置在所述蝕刻區3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作,并且使減薄玻璃的缺陷率降至;且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經歷減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設置在蝕刻區3中的主厚度測量儀32是否無法正確工作;所述第二輔助厚度測量儀設置在所述第三沖洗區2,從而在減薄后清洗終完成后,再次進行厚度檢測,從而檢測預從所述玻璃減薄生產線運出的玻璃是否符合標準,并進一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發明的較佳實施例,對本發明而言是說明性的,而非限制性的。本專業技術人員理解,在本發明權利要求所限定的精神和范圍內可對其進行許多改變,修改,甚至等效,但都將落入本發明的保護范圍內。減薄用清洗劑的類別一般有哪些?
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本發明提供如下技術方案:一種拋光減薄裝置,包括:托盤,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圓;噴頭,用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,以對所述待加工表面進行拋光;磁轉子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨,對所述待加工表面進行減薄。可選地,還包括控制部件;所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連,用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作,以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄。可選地,所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層,以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨。可選地,所述研磨層為金屬氧化物層,所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地,還包括:熱板,設置于所述托盤底部,用于對所述托盤進行加熱,以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定。可選地,所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法,包括:將待加工部件固定在托盤上,所述待加工部件包括inp基晶圓;通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進行拋光;通過磁轉子旋轉對所述待加工表面進行機械研磨。惠州什么是減薄用清洗劑什么價格