低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是我國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整的系列，并研究開發出各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵。當真空泵中的葉輪順時針方向旋轉時，由于離心力的作用，形成了一個決定于泵腔形狀的封閉圓環。直聯式真空泵規格

往復真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復直線運動的活塞，活塞的驅動是用曲柄連桿機構來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件，以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用，使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時被抽容器中的氣體經過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到右位置時，氣缸左腔內就完全充滿了氣體。直聯式真空泵規格通?？偸遣患訁^分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡單統稱為微型真空泵。

微型真空泵被作為動力裝置，普遍用于氣體采樣、氣體循環、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合，在醫療、衛生、科研、環保等領域得到了普遍的應用。輸入壓縮空氣，如果只是用微型氣泵輸出壓縮空氣。簡單地說，就是只用它來打氣、充氣，泵的抽氣口基本不用。這種情況比較簡單，按輸出壓力從大到小依次可選：PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001。當然還要參考流量指標等相關技術參數。如果是用微型泵抽氣，情況稍微復雜些。判斷微型泵抽氣端工況，用于抽氣的微型泵分為兩類：氣體采樣泵和微型真空泵。

歐美半導體行業45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據統計，目前國產干泵的應用還不足1％，國內半導體工業用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應大力研究開發干泵，使干泵成為我國真空工業新的經濟增長點。真空泵結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。

真空泵的維護檢查油的位置。經常檢查油質情況，發現油變質應及時更換新油。換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等真空泵要停止使用時，先關閉閘閥、壓力表，然后停止電機。真空泵抽速的抽氣量一般單位用L/S和m3/h來表示。真空泵機組制作費用

水環真空泵開始用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。直聯式真空泵規格

真空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。目前，全球真空泵市場的年銷售額約20億美元，年增長率在7％左右。我國生產真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右(2015年)，只相當于美國公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發展。我國真空泵制造業有著悠久的歷史和雄厚的基礎，國產真泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評，應該說我國真空泵制造業在國內外市場仍然有著巨大的發展空間。直聯式真空泵規格