抽氣量是真空泵抽速的一個(gè)衡量因素。一般單位用L/S和m3/h來(lái)表示。是彌補(bǔ)漏氣率的參數(shù)。不難理解，理論下抽一個(gè)相同體積的容器，為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度，而抽氣量小的真空泵很慢甚至無(wú)法抽到我們想要的真空度? 因?yàn)楣苈坊蛘呷萜魇冀K不可能做到不漏氣，而抽氣量大的彌補(bǔ)了漏氣所帶來(lái)的真空度下降的因素，所以，大氣量的很容易抽到理想真空度值。這里建議，在計(jì)算出理論抽氣量的情況下，我們盡量選擇高一級(jí)的抽氣量的真空泵。對(duì)于微型真空泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測(cè)定。VP0660*2真空泵經(jīng)銷商

低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整的系列，并研究開發(fā)出各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場(chǎng)合的需要。國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵。真空泵機(jī)組價(jià)位羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵。

微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過(guò)泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問題。根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴(yán)重性而定，完全根據(jù)自己的要求。好的品的平均無(wú)故障連續(xù)運(yùn)行時(shí)間都大于1000小時(shí)，有的高到數(shù)千小時(shí)。特別注意，這項(xiàng)參數(shù)是在滿負(fù)荷、不間斷的運(yùn)行狀態(tài)下測(cè)定的，是比較惡劣的工況，如果實(shí)際使用不是滿載或連續(xù)運(yùn)行，該數(shù)值會(huì)高一些，高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗(yàn)制造商的技術(shù)實(shí)力，從產(chǎn)品外觀上可以看出一些，如采用特制電機(jī)而非普通低價(jià)電機(jī)、體積相當(dāng)?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價(jià)格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問題。如果有精密電路控制微型泵，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購(gòu)低電磁干擾的微型泵。

羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過(guò)泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。

在真空泵選型前，我們必須弄清楚幾個(gè)基礎(chǔ)概念：真空，理論上是指容積里面不含有任何的物質(zhì)。（現(xiàn)實(shí)中是不存在真正的真空的）通常把容器內(nèi)氣壓低于正常大氣壓（101325 Pa）的都稱之為真空狀態(tài)。真空度表示處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用壓力值來(lái)表示。實(shí)際應(yīng)用中，真空度，通常有真空和相對(duì)真空兩種說(shuō)法。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實(shí)際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值，從表上表示出來(lái)的數(shù)值又稱為表壓強(qiáng)，業(yè)界也稱為極限相對(duì)壓強(qiáng)，即： 真空度=大氣壓強(qiáng)-壓強(qiáng)(大氣壓強(qiáng)一般取101325Pa，水環(huán)式真空泵極限壓強(qiáng)3300Pa；旋片式真空泵極限壓強(qiáng)約10Pa)。水環(huán)真空泵能獲得的極限真空為2000~4000Pa。VP0940T真空泵供應(yīng)報(bào)價(jià)

新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換油一次。VP0660*2真空泵經(jīng)銷商

真空泵在工作第1個(gè)月內(nèi)，經(jīng)100小時(shí)更換潤(rùn)滑油，以后每個(gè)500小時(shí)，換油一次。經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋，保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應(yīng)及時(shí)更換。真空泵在寒冬季節(jié)使用時(shí)，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)放凈。防止凍裂。真空泵長(zhǎng)期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉(zhuǎn)動(dòng)部位及結(jié)合處涂以油脂裝好，妥善保管。對(duì)于真空泵的維護(hù)保養(yǎng)一定要做好，不然真空泵的使用效果會(huì)減少。VP0660*2真空泵經(jīng)銷商