晶圓切割的工藝參數設置需要豐富的經驗積累,中清航科開發的智能工藝推薦系統,基于千萬級切割數據訓練而成。只需輸入晶圓材料、厚度、切割道寬等基本參數,系統就能自動生成比較好的切割方案,包括激光功率、切割速度、聚焦位置等關鍵參數,新手操作人員也能快速達到工程師的工藝水平,大幅降低技術門檻。半導體產業對設備的占地面積有著嚴格要求,中清航科采用緊湊型設計理念,將晶圓切割設備的占地面積控制在 2 平方米以內,較傳統設備減少 40%。在有限空間內,通過巧妙的結構布局實現全部功能集成,同時預留擴展接口,方便后續根據產能需求增加模塊,滿足不同規模生產車間的布局需求。晶圓切割機預防性維護中清航科定制套餐,設備壽命延長5年。臺州sic晶圓切割刀片
晶圓切割是半導體封裝的中心環節,傳統刀片切割通過金剛石砂輪實現材料分離。中清航科研發的超薄刀片(厚度15-20μm)結合主動冷卻系統,將切割道寬度壓縮至30μm以內,崩邊控制在5μm以下。我們的高剛性主軸技術可適配8/12英寸晶圓,切割速度提升40%,為LED、MEMS器件提供經濟高效的解決方案。針對超薄晶圓(<50μm)易碎裂難題,中清航科激光隱形切割系統采用紅外脈沖激光在晶圓內部形成改性層,通過擴張膜實現無應力分離。該技術消除機械切割導致的微裂紋,良率提升至99.3%,尤其適用于存儲芯片、CIS等器件,助力客戶降低材料損耗成本。舟山sic晶圓切割晶圓切割后分選設備中清航科集成方案,效率達6000片/小時。
對于高價值的晶圓產品,切割過程中的追溯性尤為重要。中清航科的切割設備內置二維碼追溯系統,每片晶圓進入設備后都會生成單獨的二維碼標識,全程記錄切割時間、操作人員、工藝參數、檢測結果等信息,可通過掃碼快速查詢全流程數據,為質量追溯與問題分析提供完整依據。在晶圓切割的邊緣處理方面,中清航科突破傳統工藝限制,開發出激光倒角技術。可在切割的同時完成晶圓邊緣的圓弧處理,倒角半徑可精確控制在 5-50μm 范圍內,有效減少邊緣應力集中,提高晶圓的機械強度。該技術特別適用于需要多次搬運與清洗的晶圓加工流程。
中清航科兆聲波清洗技術結合納米氣泡噴淋,去除切割道深槽內的微顆粒。流體仿真設計使清洗液均勻覆蓋15:1深寬比結構,殘留物<5ppb,電鏡檢測達標率100%。中清航科推出刀片/激光器租賃服務:通過云平臺監控耗材使用狀態,按實際切割長度計費。客戶CAPEX(資本支出)降低40%,并享受技術升級,實現輕資產運營。中清航科VirtualCut軟件構建切割過程3D物理模型,輸入材料參數即可預測崩邊尺寸、應力分布。虛擬調試功能將新工藝驗證周期從3周壓縮至72小時,加速客戶產品上市。中清航科綠色切割方案:冷卻液循環利用率達95%,激光系統能耗降低30%(對比行業均值)。碳足跡追蹤平臺量化每片晶圓加工排放,助力客戶達成ESG目標,已獲ISO 14064認證。晶圓切割培訓課程中清航科每月開放,已認證工程師超800名。
面對高溫高濕等惡劣生產環境,中清航科對晶圓切割設備進行了特殊環境適應性改造。設備電氣系統采用三防設計(防潮濕、防霉菌、防鹽霧),機械結構采用耐腐蝕材料,可在溫度 30-40℃、濕度 60-85% 的環境下穩定運行,特別適用于熱帶地區半導體工廠及特殊工業場景。晶圓切割的刀具損耗是影響成本的重要因素,中清航科開發的刀具壽命預測系統,通過振動傳感器與 AI 算法實時監測刀具磨損狀態,提前 2 小時預警刀具更換需求,并自動推送比較好的更換時間窗口,避免因刀具突然失效導致的產品報廢,使刀具消耗成本降低 25%。采用中清航科激光隱形切割技術,晶圓分片效率提升40%以上。徐州半導體晶圓切割劃片
針對柔性晶圓,中清航科開發低溫切割工藝避免材料變性。臺州sic晶圓切割刀片
在晶圓切割設備的自動化升級浪潮中,中清航科走在行業前列。其新推出的智能切割單元,可與前端光刻設備、后端封裝設備實現無縫對接,通過 SECS/GEM 協議完成數據交互,實現半導體生產全流程的自動化閉環。該單元還具備自我診斷功能,能提前預警潛在故障,將非計劃停機時間減少 60%,為大規模生產提供堅實保障。對于小尺寸晶圓的切割,傳統設備往往面臨定位難、效率低的問題。中清航科專門設計了針對 2-6 英寸小晶圓的切割工作站,采用多工位旋轉工作臺,可同時處理 8 片小晶圓,切割效率較單工位設備提升 4 倍。配合特制的彈性吸盤,能有效避免小晶圓吸附時的損傷,特別適合 MEMS 傳感器、射頻芯片等小批量高精度產品的生產。臺州sic晶圓切割刀片
中清航科(江蘇)科技有限公司是一家有著先進的發展理念,先進的管理經驗,在發展過程中不斷完善自己,要求自己,不斷創新,時刻準備著迎接更多挑戰的活力公司,在江蘇省等地區的數碼、電腦中匯聚了大量的人脈以及客戶資源,在業界也收獲了很多良好的評價,這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果,這些評價對我們而言是最好的前進動力,也促使我們在以后的道路上保持奮發圖強、一往無前的進取創新精神,努力把公司發展戰略推向一個新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同中清航科科技供應和您一起攜手走向更好的未來,創造更有價值的產品,我們將以更好的狀態,更認真的態度,更飽滿的精力去創造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長!